半導体製造装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997057111
Publication number (International publication number)：1998242241
Application date： Feb. 26, 1997
Publication date： Sep. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】 SMIFシステムに対応する半導体製造装置において収納物の汚染や交換時間を最少とし、かつ、オペレータや床面AGVによるポッドの交換を可能にする。【解決手段】半導体製造装置においてSMIFポッドの開閉ドアを開けて中に収納された基板を取り出すときの高さがほぼレチクル搬送高さとなるように1基以上のSMIFインデクサを配置するとともに、床面からおよそ900mmの高さにポッドを搬入出するための載置台と、該SMIFインデクサと該載置台の間でポッドを搬送する搬送手段を設ける。

Claim (excerpt)：

少なくとも1枚の基板および該基板を内蔵するカセットを清浄に保つための開閉可能なほぼ密閉された収納容器と、該収納容器の開閉を行なう少なくとも1基の収納容器開閉手段を備えた半導体製造装置であって、該開閉手段と異なる位置にあって該製造装置に対して該収納容器を搬入出するための載置台と、該載置台の搬入出位置と該開閉手段の開閉位置の間で該収納容器を搬送する搬送手段とを有することを特徴とする半導体製造装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 , H01L 21/02 , H01L 21/027

FI (4)：

H01L 21/68 A , H01L 21/02 Z , H01L 21/30 502 J , H01L 21/30 503 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-107766 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーション
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-068465 Applicant：イェノプティックアクチェンゲゼルシャフト
キャリア搬送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-201809 Applicant：東京エレクトロン東北株式会社

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