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J-GLOBAL ID：200903034176285424

ウエハ支持体およびそれを用いた熱処理用ボート

Inventor： 山本 久男 ,  古川 耕二 ,  斎藤 文明
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 角田 衛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001247861
Publication number (International publication number)：2003059851
Application date： Aug. 17, 2001
Publication date： Feb. 28, 2003
Summary：

【要約】【課題】200mm以上、特には300mm以上の直径を有するウエハに対してもスリップや傷などの表面欠陥が発生しないウエハ支持体およびそれを用いた熱処理用ボートを提供する。【解決手段】上面平坦部を有するリング形状または馬蹄形状のウエハ支持体であって、リング形状または馬蹄形状の内周上面コーナーが面取り部の幅が0.1〜4mmとなるように面取りされており、かつ該面取り部および上面平坦部の表面粗さRyが5μm以下であることを特徴とするウエハ支持体およびそれを用いた熱処理用ボート。

Claim (excerpt)：

上面平坦部を有するリング形状または馬蹄形状のウエハ支持体であって、リング形状または馬蹄形状の内周上面コーナーが面取り部の幅が0.1〜4mmとなるように面取りされており、かつ該面取り部および上面平坦部の表面粗さRyが5μm以下であることを特徴とするウエハ支持体。

IPC (3)：

H01L 21/22 511 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68

FI (3)：

H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 N

F-Term (14)：

5F031CA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA05 ,  5F031HA09 ,  5F031HA42 ,  5F031HA65 ,  5F031PA11 ,  5F031PA14 ,  5F031PA18 ,  5F045AA03 ,  5F045BB13 ,  5F045DP19 ,  5F045EM08 ,  5F045EM09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• ウェハ支持体及び縦型ボート
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-129716   Applicant：住友金属工業株式会社
• ウェーハ支持装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-093224   Applicant：住友シチックス株式会社
• ウエーハ支持装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-356900   Applicant：株式会社テクニスコ
• 熱処理用ボート
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-059742   Applicant：株式会社東芝