Pat

J-GLOBAL ID：200903001870076969

ウエーハ支持装置

Inventor： 奥田 哲也 ,  浜野 昌之
Applicant, Patent owner： 株式会社テクニスコ
Agent (1)： 小野 尚純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999356900
Publication number (International publication number)：2001176811
Application date： Dec. 16, 1999
Publication date： Jun. 29, 2001
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 ウエーハの熱処理の際に生ずるスリップラインの発生および接触傷の発生を防止することができるウエーハ支持装置を提供する。【解決手段】 所定の間隔をおいて設けられた複数段のウエーハ支持部21を備えた複数本の支持桿2を具備し、各支持桿の各ウエーハ支持部の支持面にウエーハWの外周辺部を載置して支持するウエーハ支持装置であって、上記ウエーハ支持部の支持面は、中央部に形成された平面部211と外周部に形成され下方に湾曲する曲面部212とからなっている。

Claim (excerpt)：

所定の間隔をおいて設けられた複数段のウエーハ支持部を備えた複数本の支持桿を具備し、該各支持桿の該各ウエーハ支持部の支持面にウエーハの外周辺部を載置して支持するウエーハ支持装置において、該ウエーハ支持部の支持面は、中央部に形成された平面部と外周部に形成され下方に湾曲する曲面部とからなっている、ことを特徴とするウエーハ支持装置。

IPC (5)：

H01L 21/22 511 ,  B65D 85/86 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/324 ,  H01L 21/68

FI (6)：

H01L 21/22 511 G ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/324 Q ,  H01L 21/68 V ,  H01L 21/68 N ,  B65D 85/38 R

F-Term (17)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096DA25 ,  3E096DC02 ,  3E096EA10Y ,  3E096FA10 ,  3E096GA13 ,  5F031CA02 ,  5F031HA65 ,  5F031MA30 ,  5F045BB13 ,  5F045DP19 ,  5F045EM08 ,  5F045EM09 ,  5F045HA06 ,  5F045HA16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 熱処理用ボート
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-059742   Applicant：株式会社東芝
• 熱処理用ボート
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-329829   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
• ウェーハ支持装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-093224   Applicant：住友シチックス株式会社
• 基板支持装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-017941   Applicant：国際電気株式会社
• 縦型ウエーハボート
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-095199   Applicant：株式会社テクニスコ