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J-GLOBAL ID：200903035232371556

光信号伝送システムおよびその製造方法

Inventor：
小川 剛

About 小川 剛


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998217856
Publication number (International publication number)：2000047044
Application date： Jul. 31, 1998
Publication date： Feb. 18, 2000
Summary：
【要約】【課題】 光導波路の入射段と出射段にて光路を屈曲させるための反射面を、量産に適した方法で精度良く形成する。【解決手段】 光導波路を構成するコア3およびクラッド2のいずれともエッチング選択性または現像液溶解性が異なる材料を用いてミラー層4を形成する。このミラー層4を形成するには、クラッド層2の下半分である下部クラッド層を形成し、この上でコア3をパターニングした後、基体の全面を被覆して形成されたミラー形成層をエッチング・マスクの直下にアンダカットが入るようにエッチングするか、またはフォトリソグラフィと現像処理を経てパターニングする。いずれの方法でも入射側反射面5と出射側反射面6の傾斜角θを自己整合的に決定することができる。両反射面にハーフミラー特性を持たせ、ミラー層4自身を光導波路のコアとして用いることもできる。
Claim (excerpt)：
コア部と該コア部を包囲するクラッド部とからなり、基板上にて該基板の面内方向に延在される光導波路と、前記クラッド部も含めた基体の厚み方向に光を入射させるための発光素子と、前記発光素子からの光の進行方向を曲げ前記光導波路へ入射させるための入射側の光路屈曲手段と、前記光導波路から出射した光の進行方向を前記クラッド部も含めた基体の厚み方向に曲げる出射側の光路屈曲手段と、前記出射側の光路屈曲手段による反射光を受光するための受光素子とを備えた光信号伝送システムであって、前記光路屈曲手段は、前記コア部とも前記クラッド部とも異なる材料層からなり、該材料層の端面が前記コアの端面に対して所定の傾斜角をもって対向される光反射面とされたものであることを特徴とする光信号伝送システム。
IPC (6)：
G02B 6/122 ,  H04B 10/105 ,  H04B 10/10 ,  H04B 10/22 ,  H04B 10/28 ,  H04B 10/02
FI (3)：
G02B 6/12 B ,  H04B 9/00 R ,  H04B 9/00 W
F-Term (17)：
2H047AA03 ,  2H047BB09 ,  2H047BB14 ,  2H047CC07 ,  2H047EE02 ,  2H047EE21 ,  2H047EE24 ,  2H047EE28 ,  2H047GG05 ,  5K002AA01 ,  5K002AA03 ,  5K002AA07 ,  5K002BA07 ,  5K002BA13 ,  5K002BA21 ,  5K002FA01 ,  5K002GA07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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