電子光学機器

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005022826
Publication number (International publication number)：2006210232
Application date： Jan. 31, 2005
Publication date： Aug. 10, 2006
Summary：

【課題】コンピュータ制御された電子光学機器において、電子ビーム軌道を可視化することにより操作性を向上させる。【解決手段】電子光学系の設計値及び/又は軸調整データに基づいて作成される電子ビーム軸軌道の内部データと、電子光学系の設定パラメータとに基づいて電子ビーム軌道を計算する演算手段と、前記演算手段により求められた前記電子ビーム軌道を表示する表示手段とを備え、変更された設定パラメータを読み取り、電子ビーム軌道をリアルタイムでシミュレーション計算し、可視化して表示する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

試料に電子線を照射して観察や分析等を行う電子光学機器であって、電子光学系を制御するための制御手段と、前記電子光学系の設定パラメータを読み取る手段を有し、前記電子光学系の設計値及び/又は軸調整データに基づいて計算される電子ビーム軌道計算に必要な内部データと前記電子光学系の設定パラメータとに基づいて電子ビーム軌道を計算する演算手段と、前記演算手段により求められた前記電子ビーム軌道を表示する表示手段とを備え、電子ビーム軌道を前記演算手段で再計算により求めて、前記表示手段により可視化して表示する、ことを特徴とする電子光学機器。

IPC (2)：

H01J 37/22 , H01J 37/04

FI (3)：

H01J37/22 502D , H01J37/22 501J , H01J37/04 B

F-Term (1)：

5C030AA06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-137720 Applicant：日本電子株式会社
実開昭60-129064号公報

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