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J-GLOBAL ID：200903036738426371

感放射線性樹脂組成物

Inventor：
山本 將史

About 山本 將史

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石田 英光

About 石田 英光

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石井 寛之

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梶田 徹

About 梶田 徹


Applicant, Patent owner：
ジェイエスアール株式会社

About ジェイエスアール株式会社


Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001113462
Publication number (International publication number)：2002311590
Application date： Apr. 12, 2001
Publication date： Oct. 23, 2002
Summary：
【要約】【課題】 特に、ライン・アンド・スペースパターンのスペース幅が広い場合にも、微細なラインパターンを形成でき、しかも放射線に対する透明性、感度、解像度等にも優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)(メタ)アクリル酸中のカルボキシル基の水素原子を下記式(1)、式(2)または式(3)(R2 、R4 およびR6 は水素原子または低級アルキル基;Xはメチレン基、-O-または-S-;aは1〜5)で表される基等で置換した化合物に由来する繰返し単位と、(メタ)アクリル酸2-メチル-2-アダマンチル等に由来する繰返し単位とを含有する、酸の作用によりアルカリ可溶性を示すアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)t-ブトキシカルボニル基等の官能基を有する多環式化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】
Claim (excerpt)：
(A)下記一般式(1)に示す繰り返し単位(I-1)、繰返し単位(I-2)および繰返し単位(I-3)の群から選ばれる少なくとも1種の繰返し単位と、下記一般式(2)に示す繰返し単位(II)とを含有し、酸の作用によりアルカリ可溶性を示すアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂、(B)感放射線性酸発生剤、並びに(C)式-COOR9 〔式中、R9 は水素原子、置換もしくは非置換の炭素数1〜20の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基、置換もしくは非置換の炭素数3〜20の1価の脂環式炭化水素基または-CH2 COOR10(但し、R10は水素原子、置換もしくは非置換の炭素数1〜20の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または置換もしくは非置換の炭素数3〜20の1価の脂環式炭化水素基である。)を示す。〕で表される基を有する分子量1,000以下の多環式化合物を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R1 、R3 およびR5 は相互に独立に水素原子またはメチル基を示し、R2 、R4 およびR6 は相互に独立に水素原子または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示し、Xはメチレン基、酸素原子または硫黄原子を示し、aは1〜5の整数である。〕【化2】〔一般式(2)において、R7 は水素原子またはメチル基を示し、各R8 は相互に独立に炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体、または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示し、且つR8 の少なくとも1つが該脂環式炭化水素基もしくはその誘導体であるか、あるいは何れか2つのR8 が相互の結合して、それぞれが結合している炭素原子と共に炭素数4〜20の2価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体を形成して、残りのR8 が炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数4〜20の1価の脂環式炭化水素基もしくはその誘導体である。〕
IPC (4)：
G03F 7/039 601 ,  C08F220/18 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/027
FI (4)：
G03F 7/039 601 ,  C08F220/18 ,  G03F 7/004 501 ,  H01L 21/30 502 R
F-Term (37)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB55 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA03Q ,  4J100BA04Q ,  4J100BA05Q ,  4J100BA06Q ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BA16Q ,  4J100BA40Q ,  4J100BC08Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC12Q ,  4J100BC53P ,  4J100BC58P ,  4J100BC84P ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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