微小構造体

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：平田忠雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001309927
Publication number (International publication number)：2003117895
Application date： Oct. 05, 2001
Publication date： Apr. 23, 2003
Summary：

【要約】【課題】製造装置が大型化せずに、微小構造体の強度低下を防止し、歩留まりを向上させることができる微小構造体を提供する。【解決手段】この微小構造体10は、第1〜第6層の薄膜3-1,3-2,3-3,3-4,3-5,3-6が接合されて積層されたものであり、第2層の薄膜3-2と第4層の薄膜3-4は、それぞれ内側に円形の空隙3aを有する。これにより、薄膜間の接触面積が小さくなり、必要な接合強度が得られる。

Claim (excerpt)：

複数の薄膜が接合されて積層された微小構造体において、前記複数の薄膜のうちの1つあるいは複数の薄膜は、前記薄膜同士の接触面積が所定の面積以下となるように空隙を有することを特徴とする微小構造体。

IPC (3)：

B81B 1/00 , B29C 67/00 , B81C 1/00

FI (3)：

B81B 1/00 , B29C 67/00 , B81C 1/00

F-Term (14)：

4F213AA40 , 4F213AA44 , 4F213WA25 , 4F213WL03 , 4F213WL10 , 4F213WL12 , 4F213WL23 , 4F213WL34 , 4F213WL56 , 4F213WL67 , 4F213WL75 , 4F213WL85 , 4F213WL87 , 4F213WL96

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

微小構造体、およびその製造方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-114071 Applicant：富士ゼロックス株式会社
微小構造体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-336794 Applicant：富士ゼロックス株式会社
微小構造体の製造方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-043411 Applicant：富士ゼロックス株式会社

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Cited by examiner (1)

微小構造体、およびその製造方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-114071 Applicant：富士ゼロックス株式会社

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