赤外線検出装置とその製造方法、および赤外線検出装置製造のためのエッチングモニタ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高田守 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995066527
Publication number (International publication number)：1996285680
Application date： Mar. 24, 1995
Publication date： Nov. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】赤外線撮像装置の赤外線検知部の支持体の支持強度をあげる。更に微細赤外線検知部の検知感度をあげる。更に赤外線検知部アレーの各素子間の分離を強化し微細化を可能とする。【構成】シリコン基板またはその主表面上に形成された空洞上にある絶縁部材に搭載された赤外線検知部と、この絶縁部材を空洞上に保持する橋部とを備え、この橋部および絶縁部材の少なくとも一方の断面形状が段差を有するようにした。

Claim (excerpt)：

シリコン基板と、上記シリコン基板に形成された空洞と、上記空洞上部の上記シリコン基板表面の高さの空間にある絶縁部材上に設けられた赤外線検知部と、上記絶縁部材を上記空洞上に上記空洞の外側の上記シリコン基板上の部材と上記絶縁部材を結んで保持する橋部とを備え、上記橋部、及び上記絶縁部材の少なくとも一方の断面形状が段差を有することを特徴とする赤外線検出装置。

IPC (5)：

G01J 1/02 , G01J 5/48 , H01L 27/14 , H01L 31/0248 , H01L 31/10

FI (6)：

G01J 1/02 B , G01J 1/02 C , G01J 5/48 A , H01L 27/14 K , H01L 31/08 H , H01L 31/10 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開平3-094127
カンチレバー型アクチュエータ及びそれを用いた走査型探針顕微鏡並びに情報処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-131037 Applicant：キヤノン株式会社
フローセンサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-282042 Applicant：トキコ株式会社

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