微量有機化合物捕集装置及びそれを用いた分析装置

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002063074
Publication number (International publication number)：2003262576
Application date： Mar. 08, 2002
Publication date： Sep. 19, 2003
Summary：

【要約】【課題】容易かつ安価にフォトマスク表面に吸着する微量有機化合物の捕集分析ができ、角形のフォトマスクにおいてもパターン形成部全ての微量有機化合物の捕集分析が効率良くできる微量有機化合物の捕集装置及びそれを用いた分析装置を提供することを目的とする。【解決手段】天板と底板でシール材とフォトマスクを挟み込むことで形成する捕集エリアと、該フォトマスクの加熱手段と、該捕集エリアにキャリアガスを供給しつつ排出するキャリアガス供給排出手段とを備え、キャリアガスの成分捕集を行う微量有機化合物捕集装置であって、前記シール材はフォトマスク表面のパターン部を囲い、少なくともその側面にキャリアガスの供給口及び排出口を設けたことを特徴とする微量有機化合物捕集装置及びそれを用いた分析装置を提供する。

Claim (excerpt)：

天板と底板でシール材とフォトマスクを挟み込むことで形成する捕集エリアと、該フォトマスクの加熱手段と、該捕集エリアにキャリアガスを供給しつつ排出するキャリアガス供給排出手段とを備え、キャリアガスの成分捕集を行う微量有機化合物捕集装置であって、前記シール材はフォトマスク表面のパターン部を囲い、少なくともその側面にキャリアガスの供給口及び排出口を設けたことを特徴とする微量有機化合物捕集装置。

IPC (6)：

G01N 1/22 , G01N 1/00 101 , G01N 30/06 , G01N 30/08 , G01N 30/88 , G01N 30/72

FI (6)：

G01N 1/22 Y , G01N 1/00 101 R , G01N 30/06 G , G01N 30/08 G , G01N 30/88 C , G01N 30/72 A

F-Term (14)：

2G052AA13 , 2G052AB11 , 2G052AB27 , 2G052AC21 , 2G052AD32 , 2G052AD42 , 2G052CA04 , 2G052CA12 , 2G052CA14 , 2G052EB01 , 2G052EB11 , 2G052GA27 , 2G052JA07 , 2G052JA16

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

大気圧昇温ガス脱離装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-229894 Applicant：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
微量有機物分析方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-097243 Applicant：ジーエルサイエンス株式会社
微量有機化合物分析方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-088105 Applicant：ジーエルサイエンス株式会社

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