有機エレクトロルミネセンス素子及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青山葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997113849
Publication number (International publication number)：1998302965
Application date： May. 01, 1997
Publication date： Nov. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】発光面中に黒斑点状の未発光部分がなく、発光開始電位が低く、安定した発光特性を示す有機エレクトロルミネセンス素子を提供すること。【解決手段】透明電極を減圧下でドライエッチングし陽極基板を形成する工程;該陽極基板を大気に晒すことなく減圧下に連続して乾式洗浄処理を行う工程;電極基板上に有機発光層を含む有機層を形成する工程;および該有機層上に陰極を形成する工程;を含んでなる有機エレクトロルミネセス素子の製造方法および該方法により製造された有機エレクトロルミネセス素子。

Claim (excerpt)：

透明電極を減圧下でドライエッチングし、大気に晒すことなく減圧下に連続して乾式洗浄処理を行った陽極基板、該陽極基板上に形成された有機発光層を含む有機層、および該有機層上に形成された陰極;からなる有機エレクトロルミネセンス素子。

IPC (2)：

H05B 33/26 , H05B 33/10

FI (2)：

H05B 33/26 , H05B 33/10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

透明電極薄膜のエッチング方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-104034 Applicant：株式会社小松製作所
多層膜のドライエッチング方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-047675 Applicant：株式会社日立製作所
有機エレクトロルミネッセンス素子、その製造方法並びにその製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-025632 Applicant：日本真空技術株式会社

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