カーボンナノチューブの製造方法、カーボンナノチューブの製造装置、これらに使用される触媒、当該触媒を利用した触媒装置及び当該触媒装置の製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：吉田茂明 , 吉竹英俊 , 有田貴弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003063051
Publication number (International publication number)：2004267926
Application date： Mar. 10, 2003
Publication date： Sep. 30, 2004
Summary：

【課題】カーボンナノチューブを化学気相成長法において低温で合成可能な製造方法、製造装置、及び、これらに使用される触媒及び当該触媒の製造方法を提供する。【解決手段】鉄及びコバルトからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素と、周期表4A族及び5A族から選ばれた少なくとも1種の元素とを含む非晶質薄膜が主面に形成された触媒基板1は、石英管13の外周を覆うように設けられた加熱手段14によって加熱され、薄膜中に触媒として機能する結晶性の金属微粒子を生成される。一方、キャリアガスによって希釈された炭素原料ガスが、ガス排気配管系30から石英管13へ供給され、加熱手段15で加熱分解された後に触媒基板1と接触させられる。これにより、触媒基板1上にカーボンナノチューブが成長する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

化学気相成長法によるカーボンナノチューブの製造に使用される触媒であって、鉄及びコバルトからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素と、周期表4A族及び5A族から選ばれた少なくとも1種の元素と、を含むことを特徴とする触媒。

IPC (4)：

B01J23/745 , B01J23/847 , B01J27/24 , C01B31/02

FI (4)：

B01J23/74 301M , B01J27/24 M , C01B31/02 101F , B01J23/84 301M

F-Term (26)：

4G069AA03 , 4G069AA08 , 4G069AA11 , 4G069BB02B , 4G069BB11B , 4G069BC51B , 4G069BC54B , 4G069BC66B , 4G069BC67B , 4G069CB81 , 4G069EA08 , 4G069FB02 , 4G146AA11 , 4G146BA11 , 4G146BA12 , 4G146BA48 , 4G146BB23 , 4G146BC03 , 4G146BC09 , 4G146BC23 , 4G146BC33B , 4G146BC42 , 4G146BC43 , 4G146BC44 , 4G146BC48 , 4G146DA03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (10)

カーボンナノチューブ集合体配列膜及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-077399 Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所
熱化学気相蒸着装置及びこれを用いたカーボンナノチューブの低温合成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-179984 Applicant：李鉄真, 株式会社日進ナノテック
カーボンナノチューブおよび/またはフラーレンの製造方法、並びにその製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-163489 Applicant：富士ゼロックス株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

Formation of Filamentous Carbon from Iron, Cobalt and Chromium Catalyzed Decomposition of Acetylene

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