金属膜パターンおよびその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：前田弘 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002009400
Publication number (International publication number)：2003213436
Application date： Jan. 18, 2002
Publication date： Jul. 30, 2003
Summary：

【要約】【課題】表面が平滑な基板上に対しても、簡単なプロセスで、必要な領域だけに、密着性の優れた金属膜パターンを形成する。【解決手段】基板上に、第1触媒を含有する感光膜を形成する(第1の工程)。この感光膜を所定パターンに形成する(第2の工程)。パターニングされた第1触媒上に、湿式成膜技術による金属酸化膜(ZnO膜など)を選択的に形成する(第3の工程)。金属酸化膜上に、無電解めっきの触媒となる層(第2触媒層)を形成する(第4の工程)。基板を無電解めっき浴に浸漬して、金属酸化膜上に金属膜を析出させる(第5の工程)。

Claim (excerpt)：

表面が平滑な基板上に、第1触媒層と、前記第1触媒層上の全領域または一部の領域に形成された、Ra=10nm以上500nm以下の範囲で凹凸の表面を有する金属酸化膜と、前記金属酸化膜上に形成された無電解めっき金属膜とを有する、金属膜パターン。

IPC (9)：

C23C 18/18 , C23C 18/12 , C23C 18/32 , C23C 18/38 , C23C 18/42 , C23C 20/06 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1368 , H01L 21/288

FI (9)：

C23C 18/18 , C23C 18/12 , C23C 18/32 , C23C 18/38 , C23C 18/42 , C23C 20/06 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1368 , H01L 21/288 E

F-Term (38)：

2H088FA18 , 2H088HA08 , 2H088MA20 , 2H092JA24 , 2H092KB04 , 2H092MA11 , 2H092MA15 , 2H092MA23 , 2H092NA27 , 4K022AA05 , 4K022BA01 , 4K022BA03 , 4K022BA08 , 4K022BA14 , 4K022BA31 , 4K022BA36 , 4K022CA06 , 4K022CA07 , 4K022DA03 , 4K022DB03 , 4M104AA10 , 4M104BB02 , 4M104BB16 , 4M104BB17 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104CC05 , 4M104DD22 , 4M104DD31 , 4M104DD51 , 4M104DD53 , 4M104DD68 , 4M104EE03 , 4M104EE17 , 4M104FF08 , 4M104FF13 , 4M104GG09 , 4M104HH08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

電気配線の製造方法および配線基板および表示装置および画像検出器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-058696 Applicant：シャープ株式会社
基板を選択的に金属被覆する方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-105013 Applicant：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
無電解めっきのための活性化触媒液、および無電解めっき方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-041954 Applicant：株式会社村田製作所

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