静電チャック装置用接着剤組成物、該装置用シート及びそれを使用した静電チャック装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000037646
Publication number (International publication number)：2001230311
Application date： Feb. 16, 2000
Publication date： Aug. 24, 2001
Summary：

【要約】【課題】高温長時間の熱履歴を受けた後でも十分な接着力、吸着力を有し、さらに多数回のプラズマに対して十分な耐久性を有する静電チャック装置用接着剤、静電チャック装置及び静電チャック装置用シートを提供する。【解決手段】下記式(1)及び下記式(2)の構造単位が配列したポリイミド樹脂とエポキシ樹脂を含有することを特徴とする静電チャック装置用接着剤組成物。【化1】

Claim (excerpt)：

下記式(1)及び下記式(2)の構造単位が配列したポリイミド樹脂とエポキシ樹脂を含有することを特徴とする静電チャック装置用接着剤組成物。【化1】[式中、Wは、直接結合、炭素数1〜4のアルキレン基、-O-、-SO2-、又は-CO-を表し、Arは芳香環を1〜4個有する2価の芳香族基を表し、R1及びR6は炭素数1〜4のアルキレン基又は下記式(3)で示される基を表し、【化2】(式中、Alkはケイ素原子に結合する炭素数1〜4のアルキレン基を表す。)、R2〜R5は炭素数1〜4のアルキル基を表し、nは0〜32の整数である。]

IPC (4)：

H01L 21/68 , C09D163/00 , C09D179/08 , C08J 5/12

FI (4)：

H01L 21/68 R , C09D163/00 , C09D179/08 Z , C08J 5/12

F-Term (34)：

4F071AA41A , 4F071AA42A , 4F071AA60A , 4F071AB09B , 4F071AF19A , 4F071AF57A , 4F071AH12 , 4F071CA01 , 4F071CB02 , 4F071CD03 , 4J038DA032 , 4J038DB021 , 4J038DB022 , 4J038DB051 , 4J038DB052 , 4J038DB061 , 4J038DB062 , 4J038DB071 , 4J038DB072 , 4J038DB091 , 4J038DB092 , 4J038DJ021 , 4J038DJ022 , 4J038DL081 , 4J038DL082 , 4J038NA12 , 4J038NA14 , 4J038NA17 , 4J038NA21 , 4J038PB09 , 4J038PC01 , 4J038PC02 , 5F031CA02 , 5F031HA17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

静電チャック装置およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-023192 Applicant：株式会社巴川製紙所
プリント基板用耐熱性接着剤フィルム及びその使用方法並びにこれを用いたプリント基板の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-361176 Applicant：新日鐵化学株式会社
被覆電気導電体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-194464 Applicant：宇部興産株式会社

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