走査型プローブ顕微鏡

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996151272
Publication number (International publication number)：1997329605
Application date： Jun. 12, 1996
Publication date： Dec. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】同一画素から異種の情報を得る際、解析的な手法を通して空間的な分解能を向上させ、再現性が高く高感度な走査型プローブ顕微鏡を提供すること。【解決手段】バイアス電圧供給回路18から試料15に電圧が印加され、試料15の表面上にマイクロカンチレバー21が接近すると、マイクロカンチレバー21からの反射光が変位検出系23で検出される。この変位検出系23を介して試料15表面の形状と、電流電圧変換回路22の出力から試料15の電気的情報が得られる。更に、上記測定と同時にレーザ光源17から臨界角プリズム16を介してレーザ光が試料15に照射される。マイクロカンチレバー21の探針20と試料15表面上のエバネッセント場25との接触により、エバネッセント光が発生し、これがフォトマル24に入力される。このフォトマル24の出力から、試料15の光学的情報が得られる。

Claim (excerpt)：

測定対象となる試料に対向して走査可能に配置され、先端に探針を有して自由端に保持されたマイクロカンチレバーと、このマイクロカンチレバーの変位信号を検出して上記試料の表面形状を得る第1の検出手段と、上記試料の表面形状以外の情報を、上記第1の検出手段の検出と同時に検出する第2の検出手段とを具備し、上記第1の検出手段及び第2の検出手段の検出結果に基いて上記試料の表面情報を得ることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , H01J 37/28

FI (3)：

G01N 37/00 A , G01B 21/30 Z , H01J 37/28 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (16)

ニアフィールド顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-350961 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
潤滑剤分布の測定方法及び測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-109937 Applicant：富士通株式会社
走査表面磁気顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-212587 Applicant：株式会社日立製作所

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