触媒反応器の製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：荒船博司 , 荒船良男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003088613
Publication number (International publication number)：2004290879
Application date： Mar. 27, 2003
Publication date： Oct. 21, 2004
Summary：

【課題】反応が十分促進できる程度の触媒層を簡易に形成できる触媒反応器の製造方法を提供すること。【解決手段】第一基板54の一方の面54aに、葛折りした断面形状アーチ状の溝56aを形成する。次いで、第一基板54の一方の面54aの一面に金属酸化物膜70を成膜する。次にその面54aを研磨すると、溝56aの内壁面には金属酸化物膜70が残留するが、溝56a以外の部分では金属酸化物膜70が除去される。遂に、その面54aに触媒分散液又は触媒溶液を塗布すると、触媒は第一基板54の露出した部分よりも優先的に溝56aの金属酸化物膜70に吸着するので、金属酸化物膜70の表面に触媒層59が形成される。次いで、第一基板54の一方の面54aに第二基板55を接合する。【選択図】図6

Claim (excerpt)：

一方の面に凹部が形成された第一の基板の前記一方の面に吸着膜を成膜する工程と、次いで、前記一方の面を研磨することによって前記一方の面のうち前記凹部以外の部分の吸着膜を除去する工程と、次いで、触媒を含有した触媒含有液を前記一方の面に塗布することによって前記凹部に残留した吸着膜に触媒を吸着させる工程と、次いで、第二の基板を前記第一の基板の一方の面に接合する工程と、を含むことを特徴とする触媒反応器の製造方法。

IPC (1)：

B01J37/00

FI (1)：

B01J37/00 K

F-Term (28)：

4G069AA01 , 4G069AA03 , 4G069AA08 , 4G069AA11 , 4G069BA01B , 4G069CC25 , 4G069CC26 , 4G069CC32 , 4G069FA02 , 4G069FA03 , 4G069FB01 , 4G069FB02 , 4G069FB08 , 4G069FB15 , 4G069FB23 , 4G140EA02 , 4G140EA03 , 4G140EA06 , 4G140EB23 , 4G140EB32 , 4G140EB35 , 4G140EB48 , 4G140EC08 , 5H027AA02 , 5H027BA01 , 5H027BA05 , 5H027BA16 , 5H027BA17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

改質器、改質システム、及び燃料電池システム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-261415 Applicant：株式会社東芝
めっき方法及びめっき構造
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-143620 Applicant：ソニー株式会社
半導体装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-194975 Applicant：株式会社荏原製作所

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