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J-GLOBAL ID：200903011878883370

電子ビーム検査装置

Inventor：
竹本 茂

About 竹本 茂


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 古谷 史旺 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998282394
Publication number (International publication number)：2000113848
Application date： Oct. 05, 1998
Publication date： Apr. 21, 2000
Summary：
【要約】【課題】 電子ビームを利用して試料の欠陥箇所を検査する電子ビーム検査装置に関し、特に高画質の試料画像を取得することができる。【解決手段】 ステージ上の試料に電子ビームを照射して、二次ビームを検出し、照射領域の画像を生成する電子検出手段37と、二次ビームを電子検出手段の検出面に結像させる写像電子光学系29、32、34、35とを備えた電子ビーム検査装置であって、電子検出手段は、二次ビームを光に変換する変換器39と、TDICCDセンサ41とを備えて構成され、転送信号を出力する転送信号制御部51と、ステージを駆動して、検出面に結像される光学像を移動させるステージ駆動手段49と、ステージの位置を検出する位置検出手段50と、転送信号による電荷の移動とステージ駆動手段による光学像の移動との同期ずれを検出する同期ずれ検出手段48とを備えて構成される。
Claim (excerpt)：
ステージ上に載置される試料に電子ビームを照射し、該試料の照射領域から発生する二次電子または反射電子の少なくとも一方からなる二次ビームを検出し、前記照射領域の画像を生成する電子検出手段と、前記試料と前記電子検出手段との間に配置され、前記二次ビームを前記電子検出手段の検出面に結像させる写像電子光学系とを備えた電子ビーム検査装置であって、前記電子検出手段は、前記検出面に配置され、前記二次ビームを光に変換する変換器と、複数ライン状に二次元配列された画素を備え、前記変換器を介して得られる光学像の受光によって生じる各ラインの画素の電荷を、転送信号に同期して順次隣接するラインの対応画素へそれぞれ転送し、転送毎に、該電荷と該電荷が転送された画素から生じる電荷とを加算し、終端に相当するラインまでの所定のライン数積算した電荷を、順次出力するアレイ撮像部とを備えて構成され、前記転送信号を出力する転送信号制御部と、前記ステージを駆動して、前記検出面に結像される前記光学像を移動させるステージ駆動手段と、前記ステージの位置を検出する位置検出手段と、前記転送信号と前記位置検出手段の検出信号とに基づいて、前記転送信号による前記電荷の移動と前記ステージ駆動手段による前記光学像の移動との同期ずれを検出する同期ずれ検出手段とを備えたことを特徴とする電子ビーム検査装置。
IPC (2)：
H01J 37/29 ,  H01J 37/244
FI (2)：
H01J 37/29 ,  H01J 37/244
F-Term (5)：
5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033NN10 ,  5C033NP03 ,  5C033NP05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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