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J-GLOBAL ID:200903045348992529
振動波駆動装置
Inventor:
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,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
岸田 正行 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001068432
Publication number (International publication number):2002272147
Application date: Mar. 12, 2001
Publication date: Sep. 20, 2002
Summary:
【要約】【課題】多自由度の駆動を行なう振動波駆動装置の小型化を実現する。【解決手段】平板形状の振動体2の4辺のほぼ中央に接触突起部PC1〜PC4を一体に形成するとともに、中央部に被駆動体吸着用の磁石5を有する突起部PG、4隅に突起部PE1〜PE4を形成し、振動体2に圧電素子3を接着固定したものを振動子1とし、圧電素子3を駆動して振動子1に3つの異なる固有振動モードを励起させ、これらを組み合わせることで直交する3軸回りの回転、あるいは2方向と1軸回りの回転など、多自由度の駆動が行なえる。振動子1を平板形状とすることで装置の小型化を実現する。
Claim (excerpt):
板状に形成され平面部を有する振動体と、前記振動体に設けられ被駆動体と接触する接触突起部と、前記平面部に設けられ前記平面部の面外方向に振動する3つの異なる振動を励振する電気-機械エネルギー変換素子とを備える振動子と、前記振動体の接触突起部に加圧接触する被駆動体とを有することを特徴とする振動波駆動装置。
F-Term (15):
5H680AA00
, 5H680AA19
, 5H680BC01
, 5H680CC02
, 5H680DD01
, 5H680DD23
, 5H680DD53
, 5H680DD55
, 5H680DD82
, 5H680DD92
, 5H680FF08
, 5H680FF13
, 5H680FF33
, 5H680GG23
, 5H680GG27
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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多自由度形駆動装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-269898
Applicant:株式会社ニコン
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振動型アクチュエータおよび振動波駆動装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-134486
Applicant:キヤノン株式会社
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振動アクチュエータ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-136617
Applicant:株式会社ニコン
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