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J-GLOBAL ID:200903046805119239

カーボンナノチューブの加工法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (4): 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002218752
Publication number (International publication number):2004058194
Application date: Jul. 26, 2002
Publication date: Feb. 26, 2004
Summary:
【課題】1本のカーボンナノチューブをその任意の位置で切断することや、1本のカーボンナノチューブを変形させたり、カーボンナノチューブを接合したり、カーボンナノチューブを他の物質に固定したりすることができるイオンビーム照射法以外の新たな加工法を得ることにある。【解決手段】真空中でカーボンナノチューブに電子線を照射して加工を施す。切断加工での照射条件は真空度:1×10-8〜1×10-3Pa、電子線加速電圧:200kV以上、電子線照射電流密度:7.51×106A/mm2〜2.1×1010A/mm2、電子線ビーム径:100nm以下と、変形、接合、固定加工での照射条件は、真空度:1×10-8〜1×10-3Pa、電子線加速電圧:5〜30kV、電子線照射電流密度:2.54×104A/mm2〜4.89×106A/mm2、電子線照射範囲:350nm×500nm以下とされる。【選択図】なし
Claim (excerpt):
真空中でカーボンナノチューブに電子線を照射してカーボンナノチューブに加工を施すことを特徴とするカーボンナノチューブの加工法。
IPC (1):
B82B3/00
FI (1):
B82B3/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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