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J-GLOBAL ID:200903046805119239
カーボンナノチューブの加工法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 青山 正和
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002218752
Publication number (International publication number):2004058194
Application date: Jul. 26, 2002
Publication date: Feb. 26, 2004
Summary:
【課題】1本のカーボンナノチューブをその任意の位置で切断することや、1本のカーボンナノチューブを変形させたり、カーボンナノチューブを接合したり、カーボンナノチューブを他の物質に固定したりすることができるイオンビーム照射法以外の新たな加工法を得ることにある。【解決手段】真空中でカーボンナノチューブに電子線を照射して加工を施す。切断加工での照射条件は真空度:1×10-8〜1×10-3Pa、電子線加速電圧:200kV以上、電子線照射電流密度:7.51×106A/mm2〜2.1×1010A/mm2、電子線ビーム径:100nm以下と、変形、接合、固定加工での照射条件は、真空度:1×10-8〜1×10-3Pa、電子線加速電圧:5〜30kV、電子線照射電流密度:2.54×104A/mm2〜4.89×106A/mm2、電子線照射範囲:350nm×500nm以下とされる。【選択図】なし
Claim (excerpt):
真空中でカーボンナノチューブに電子線を照射してカーボンナノチューブに加工を施すことを特徴とするカーボンナノチューブの加工法。
IPC (1):
FI (1):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
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電界放出型電子放出素子及びその作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-204011
Applicant:株式会社リコー
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カーボン材料の構造制御方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-322205
Applicant:ソニー株式会社
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カーボン系水素貯蔵材の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-209228
Applicant:本田技研工業株式会社
-
カーボンナノチューブの加工方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-358136
Applicant:トヨタ自動車株式会社
-
カーボンナノチューブの加工方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-322501
Applicant:日本電気株式会社
-
微細な導体の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-139989
Applicant:日本電信電話株式会社
-
ナノチューブの加工方法及び電界放出型冷陰極の製造方法並びに表示装置の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-368424
Applicant:日本電気株式会社
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保護カバー付カーボンナノチューブ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-192480
Applicant:関西ティー・エル・オー株式会社
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