感放射線性樹脂組成物およびそれに用いる重合体の製造法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大島正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997095885
Publication number (International publication number)：1998288839
Application date： Apr. 14, 1997
Publication date： Oct. 27, 1998
Summary：

【要約】【課題】高感度で高精度のパターン形成ができ、ドライエチング耐性の高い感放射線性組成物を提供すること。【解決手段】 2,2,6,6-テトラ(アルキルまたはアラルキル)ピペリジニル-1-オキシラジカルおよびラジカル重合開始剤を併用して、核置換スチレン類を重合せしめて重合体を製造する方法、およびこのようにして得られた重合体を感放射線性酸発生剤と一緒に含有するポジ型感放射線性樹脂組成物。

Claim (excerpt)：

下記式(1)【化1】ここで、R1は-Hもしくは-CH3であり、R2は-OH、-O-C(=O)-O-C(CH3)3、-O-C(CH3)3または-O-CH(R3)OR4であり、そしてR3とR4は互いに独立に直鎖状、分岐鎖状もしくは環状の炭素数1〜6のアルキル基を示すかあるいは互いに結合して環を形成していてもよい、で表されるスチレン類の少なくとも1種を含有する単量体を、下記式(2)【化2】ここで、R5、R6およびR7は同一もしくは異なり、水素原子、水酸基、アルキル基、ヒドロキシアルキル基、アルコキシアルキル基、アルキルカルボニルオキシ基、シアノ基、カルボキシル基、アルキルオキシカルボニル基、置換もしくは非置換の脂環式基または置換もしくは非置換の芳香族基であり、そしてR8、R9、R10およびR11は互いに独立に、炭素数1〜10のアルキル基またはアラルキル基である、で表されるラジカルおよび該ラジカル以外のラジカル重合開始剤の存在下で、重合せしめて下記式(3)【化3】ここで、R1およびR2の定義は上記式(1)に同じである、で表される繰返し単位を含む重合体を生成せしめることを特徴とする重合体の製造方法。

IPC (8)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/039 501 , C08F 4/32 , C08F 12/22 , C08L 25/18 , G03F 7/004 503 , G03F 7/031 , H01L 21/027

FI (8)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/039 501 , C08F 4/32 , C08F 12/22 , C08L 25/18 , G03F 7/004 503 , G03F 7/031 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

フリーラジカル重合方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-277255 Applicant：ゼロックスコーポレイション
重合方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-066787 Applicant：ゼロックスコーポレイション
ポジ型レジスト材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-218703 Applicant：日本電信電話株式会社

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