カーボンナノチューブからなる電気的に導電性の接続を有する電子部品とその製造方法

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：原謙三 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001560448
Publication number (International publication number)：2003523608
Application date： Feb. 02, 2001
Publication date： Aug. 05, 2003
Summary：

【要約】本発明は、第1導電層、非導電層および第2導電層を有する電子部品に関するものである。非導電層を通ってホールがエッチングされている。上記ホールに設けられたナノチューブが、第1導電層を第2導電層に導電して接続する。

Claim (excerpt)：

第1導電層と、第1導電層の上の非導電層と、非導電層の上の第2導電層と、非導電層を貫通する少なくとも1つのホールと、ホールにあり、第1導電層を第2導電層に接続する少なくとも1つのナノチューブとを含む電子部品。

IPC (2)：

H01J 1/304 , H01J 9/02

FI (2)：

H01J 9/02 B , H01J 1/30 F

F-Term (19)：

5C127AA01 , 5C127BA13 , 5C127BA15 , 5C127BB02 , 5C127BB07 , 5C127CC03 , 5C127DD32 , 5C127DD52 , 5C127DD99 , 5C127EE17 , 5C127EE20 , 5C135AA13 , 5C135AA15 , 5C135AB02 , 5C135AB07 , 5C135AC02 , 5C135GG11 , 5C135HH17 , 5C135HH20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

半導体装置及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-097948 Applicant：富士通株式会社
集積回路
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-092472 Applicant：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト, インターナショナルビジネスマシーンズコーポレーション
カーボンナノチューブデバイスおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-305512 Applicant：キヤノン株式会社

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