Pat

J-GLOBAL ID：200903048977039752

ラッピングオイル組成物及び複合材の仕上げ研磨方法

Inventor： 齋藤 軍夫 ,  代田 友和 ,  賀来 智弘 ,  折井 一也
Applicant, Patent owner： 東京磁気印刷株式会社
Agent (2)： 倉内 基弘 ,  風間 弘志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003429914
Publication number (International publication number)：2005187616
Application date： Dec. 25, 2003
Publication date： Jul. 14, 2005
Summary：

【課題】 硬度の異なる複数の異硬度材料から構成される複合材料の研磨加工において、軟質材料の選択研磨を防止した均一な研磨加工を達成する。 【解決手段】 異硬度材料で構成されている複合材の研磨加工において、遊離砥粒スラリーをラッピング定盤上に滴下しながら主研磨を行った後に実施される仕上げ研磨用のラッピングオイル組成物であって、非水系溶媒にアミン系化合物を少なくとも一種類含有し、かつ最大粒子径50nm以下のナノ炭素粒子を含有するラッピングオイル組成物及びこれを使用する複合材料の仕上げ研磨方法。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

異硬度材料で構成されている複合材の研磨加工において、遊離砥粒スラリーをラッピング定盤上に滴下しながら主研磨を行った後に実施される仕上げ研磨用のラッピングオイル組成物であって、非水系溶媒にアミン系化合物を少なくとも一種類含有し、かつ最大粒子径50nm以下のナノ炭素粒子を含有するラッピングオイル組成物。

IPC (3)：

C09K3/14 ,  B24B37/00 ,  G11B5/31

FI (4)：

C09K3/14 550F ,  C09K3/14 550Z ,  B24B37/00 H ,  G11B5/31 M

F-Term (9)：

3C058AA07 ,  3C058CB01 ,  3C058CB07 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA16 ,  5D033CA05 ,  5D033DA01 ,  5D033DA31

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 特開昭62-292358号公報
  
• 特開平3-92264号公報
  
• 研磨方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-091405   Applicant：松下電器産業株式会社
• 磁気ヘッドの加工方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-047088   Applicant：日立金属株式会社

Cited by examiner (4)

• 超精密加工用スラリー及び超精密加工用ペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-360417   Applicant：株式会社東京ダイヤモンド工具製作所
• 仕上げ研磨用ラッピングオイル組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-008715   Applicant：東京磁気印刷株式会社, ティーディーケイ株式会社
• 遊離砥粒研磨スラリー組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-319391   Applicant：山口精研工業株式会社
• 遊離砥粒スラリー組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-113327   Applicant：東京磁気印刷株式会社, ティーディーケイ株式会社