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J-GLOBAL ID:200903049576248690

3次元形状計測方法及びこれを用いた3次元形状計測装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006146579
Publication number (International publication number):2007315946
Application date: May. 26, 2006
Publication date: Dec. 06, 2007
Summary:
【課題】 計測対象物の表面にある物が、クラックのような凹部分であるか、バリのような小片突起物が計測対象物の表面に付着しているかを判断できる位相シフト法を提供する。【解決手段】 縞パターンの光を計測対象物に投影し、縞パターンの投影方向と異なる方向から計測対象物を撮像した撮像画像を得る過程を、縞パターンの位相を一定間隔でずらしながら複数回実行し、撮像画像を複数の撮像装置によって撮像画像を撮像することにより、前記複数回の過程で得られた複数枚の撮像画像における同一点での明度変化に基づいて縞パターンの位相値を演算するとともに位相値から撮像画像上の各点における高さ情報を得る3次元形状計測方法において、単独の撮像装置によって撮像された撮像画像からのデータのみでは高さ情報を得ることできない範囲について、複数の撮像装置によって撮像される撮像画像からのデータを比較することにより、高さ情報を得る。【選択図】図1
Claim (excerpt):
光の明度が正弦波状に変化する縞パターンを計測対象物に投影し、縞パターンの投影方向と異なる方向から計測対象物を撮像した撮像画像を得る過程を、縞パターンの位相を一定間隔でずらしながら複数回実行し、撮像画像を複数の撮像装置によって撮像画像を撮像することにより、前記複数回の過程で得られた複数枚の撮像画像における同一点での明度変化に基づいて縞パターンの位相値を演算するとともに該位相値から撮像画像上の各点における高さ情報を得ることで計測対象物の3次元形状を計測する3次元形状計測方法において、 単独の撮像装置によって撮像された撮像画像からのデータのみでは高さ情報を得ることできない範囲について、複数の撮像装置によって撮像される撮像画像の撮像データを比較することにより、高さ情報を得ることを特徴とする3次元形状計測方法。
IPC (1):
G01B 11/25
FI (1):
G01B11/25 H
F-Term (10):
2F065AA24 ,  2F065AA49 ,  2F065AA53 ,  2F065FF06 ,  2F065HH06 ,  2F065JJ03 ,  2F065LL41 ,  2F065QQ00 ,  2F065RR05 ,  2F065RR08
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (9)
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