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J-GLOBAL ID：200903049937765538

薄膜多自由度アクチュエータ

Inventor： 秦 誠一 ,  下河邉 明
Applicant, Patent owner： 財団法人理工学振興会
Agent (1)： 安形 雄三 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002010414
Publication number (International publication number)：2003211395
Application date： Jan. 18, 2002
Publication date： Jul. 29, 2003
Summary：

【要約】【課題】 高い生産性と高い再現性とを有し、形態安定性に優れた薄膜金属ガラスを用いた薄膜構造体からなる多自由度の薄膜アクチュエータを提供する。【解決手段】 薄膜金属ガラスと、当該薄膜金属ガラスを駆動させる二つ以上のアクチュエータとを備えた片持ちはり状の薄膜構造体であって、薄膜金属ガラスは、曲部又は捻り部を有し、アクチュエータは少なくとも一部の前記曲部又は捻り部を挟むように配置されている。

Claim (excerpt)：

薄膜金属ガラスと、前記薄膜金属ガラスを駆動させる二つ以上のアクチュエータとを備えた片持ちはり状の薄膜構造体であって、前記薄膜金属ガラスは、曲部又は捻り部を有し、前記アクチュエータは少なくとも一部の前記曲部又は捻り部を挟むように配置されていることを特徴とする薄膜多自由度アクチュエータ。

IPC (5)：

B81B 3/00 ,  B06B 1/06 ,  B81C 1/00 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (5)：

B81B 3/00 ,  B06B 1/06 Z ,  B81C 1/00 ,  H01L 41/08 M ,  H01L 41/22 Z

F-Term (2)：

5D107AA08 ,  5D107CC01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 薄膜変位素子及びそれを用いた走査型トンネル顕微鏡、情報処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-315547   Applicant：キヤノン株式会社
• 薄膜構造体の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-126680   Applicant：東京工業大学長
• 薄膜平面構造体の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-126593   Applicant：東京工業大学長
• 静電マイクロアクチュエータの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-183753   Applicant：東京工業大学長