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J-GLOBAL ID：200903050292296420

荷電粒子線装置

Inventor：
原田 研

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明石 哲也

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戸川 欣彦

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松田 強

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守谷 騰

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Applicant, Patent owner：
独立行政法人理化学研究所

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Agent (2)： 小川 勝男 ,  田中 恭助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005139495
Publication number (International publication number)：2006318734
Application date： May. 12, 2005
Publication date： Nov. 24, 2006
Summary：
【課題】荷電粒子線の光学系の光軸に垂直な平面内、もしくは少し傾斜した平面内における回転機構をもった装置の回転操作に伴って発生する観察・加工位置の移動の補正を簡便かつ高精度に実現すること。【解決手段】荷電粒子線装置における試料ホルダー、絞り装置、バイプリズムなどの、当該回転機構の2次元位置検出器とコンピュータ制御による駆動機構を利用し、さらにコンピュータの演算能力を利用することによって該平面内の回転に伴う移動量を演算によって求め、これを相殺させる様に駆動、制御を行なう。また、ひとつの入力によって複数の回転機構を互いに関連をもって操作させる。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
試料の観察、もしくは、加工に使用される荷電粒子線装置であって、前記荷電粒子線装置の光学系の光軸に垂直なXY平面内、もしくは少し傾斜した平面内で前記試料を回転可能に保持するとともに前記XY平面内で移動可能に保持する試料ホルダーを備えるとともに、該試料ホルダーを前記XY平面内でX方向、Y方向に独立して移動させる駆動装置とX方向、Y方向の移動量を検出する位置検出器および前記試料を光軸に垂直なXY平面内、もしくは少し傾斜した平面内で回転させる駆動装置とを備え、前記試料を回転させた角度θに応じて前記試料ホルダーを前記XY平面内でX方向、Y方向に独立して移動させて、前記試料の回転に伴う前記試料に対する光学系の光軸位置のずれを補正することを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (6)：
H01J 37/20 ,  H01J 37/295 ,  H01J 37/26 ,  G01N 23/04 ,  H01J 37/30 ,  H01J 37/04
FI (6)：
H01J37/20 C ,  H01J37/295 ,  H01J37/26 ,  G01N23/04 ,  H01J37/30 Z ,  H01J37/04 B
F-Term (22)：
2G001AA03 ,  2G001BA11 ,  2G001BA18 ,  2G001CA03 ,  2G001GA07 ,  2G001HA12 ,  2G001JA03 ,  2G001JA13 ,  2G001KA12 ,  5C001AA01 ,  5C001AA03 ,  5C001AA06 ,  5C001CC01 ,  5C030AA06 ,  5C030AA07 ,  5C030AA08 ,  5C030AB01 ,  5C033SS02 ,  5C033SS03 ,  5C033SS10 ,  5C034AA02 ,  5C034AB05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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