耐プラズマ性部材

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：松山允之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002060816
Publication number (International publication number)：2002356387
Application date： Mar. 06, 2002
Publication date： Dec. 13, 2002
Summary：

【要約】【課題】機械的な強度が補強され、かつ低圧高密度プラズマ曝露に対しても十分耐える耐プラズマ性部材の提供。【解決手段】アルミナ系基材の少なくともプラズマに曝される表面が、中間層を介するなどして周期律表IIIA族元素の酸化物層で形成されていることを特徴とする。この耐プラズマ性部材の構成において、中間層としては10〜80重量%の周期律表IIIA族元素の酸化物及び90〜20重量%のアルミナで形成されたものが好ましい。また、この中間層として、気孔率が0.2〜5%の粗密質セラミックス層であっても良い。また、アルミナ系基材及び中間層の1600〜1900°Cにおける熱収縮率差が3%以下であることなど、少なくともいずれか一つの条件を備えることがさらに望ましい。

Claim (excerpt)：

アルミナ系基材の少なくともプラズマに曝される表面が、周期律表IIIA族元素の酸化物あるいは複合化合物を含む表面層で形成され、両者の熱膨張差を緩衝する手段が設けられていることを特徴とする耐プラズマ性部材。

IPC (5)：

C04B 41/89 , H01L 21/3065 , H05H 1/46 , C23C 14/00 , C23C 16/44

FI (5)：

C04B 41/89 A , H05H 1/46 L , C23C 14/00 Z , C23C 16/44 B , H01L 21/302 B

F-Term (23)：

4K029AA06 , 4K029AA24 , 4K029BA01 , 4K029BA43 , 4K029BB02 , 4K029BC01 , 4K029DC27 , 4K029GA02 , 4K030AA02 , 4K030BA01 , 4K030BA55 , 4K030BB12 , 4K030CA04 , 4K030DA04 , 4K030FA01 , 4K030JA01 , 4K030JA06 , 4K030JA20 , 4K030KA30 , 5F004AA15 , 5F004BA08 , 5F004BB29 , 5F004BD04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

アルミナ質焼結体およびその製造方法、並びに耐プラズマ部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-274045 Applicant：京セラ株式会社
特開平3-177380
特開昭57-071671

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