検査システム

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：岡田和秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007158413
Publication number (International publication number)：2008309676
Application date： Jun. 15, 2007
Publication date： Dec. 25, 2008
Summary：

【課題】より効率的に材料検査を実施可能とすること、およびX線検査をより高精度に実施可能とすること。【解決手段】第1の検査セットは、電界放射型電子エミッタと、X線検出器と、を含み、材料検査に用いる。第2の検査セットは、陽極先端部の半径方向外側を環状に囲む電界放射型の環状電子エミッタと、環状電子エミッタのX線照射方向両側位置に配置された電子遮蔽部材と、を備え、X線検査に用いる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

搬送ロボットに搭載されて移動制御が可能な検査セットと、遠隔位置から検査セットの操作を制御する制御コンピュータとを含み、上記検査セットは、放射線源としての電界放射型電子エミッタと、X線検出器とを備え、検査に際しては上記検査セットを密封装置により検査対象と共に同一真空空間に密封制御可能とした、ことを特徴とする検査システム。

IPC (1)：

G01N 23/225

FI (1)：

G01N23/225

F-Term (9)：

2G001AA03 , 2G001BA05 , 2G001CA01 , 2G001GA01 , 2G001JA01 , 2G001JA06 , 2G001KA03 , 2G001LA02 , 2G001SA14

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

材料検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-092199 Applicant：株式会社日立製作所
非破壊検査ロボットシステム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-212808 Applicant：株式会社日立製作所

Cited by examiner (10)

特開昭52-002785
非破壊検査ロボットシステム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-212808 Applicant：株式会社日立製作所
放射線検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-097586 Applicant：株式会社東芝

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