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J-GLOBAL ID：200903050708793194

導電性プローブ

Inventor： 杉村 博之 ,  山本 琢磨 ,  鈴木 美彦
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995043282
Publication number (International publication number)：1996240598
Application date： Mar. 02, 1995
Publication date： Sep. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】 導電性プローブの先端の変形を抑え、耐磨耗性を高くする。【構成】 可撓性の板バネ2と、板バネ2の試料が配置される面に形成された探針3と、を有するプローブにおいて、板バネ2の探針3が形成されている面であり、少なくとも探針3の先端を含む領域に金属窒化物、金属炭化物または金属炭窒化物からなる導電性層4を設ける。

Claim (excerpt)：

可撓性の板バネと、前記板バネの試料が配置される面に形成された探針と、を有するプローブにおいて、前記板バネの前記探針が形成されている面であり、少なくとも前記探針の先端を含む領域に金属窒化物、金属炭化物または金属炭窒化物からなる導電性層を設けたことを特徴とする導電性プローブ。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  G01R 1/067

FI (5)：

G01N 37/00 B ,  G01N 37/00 G ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z ,  G01R 1/067 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 原子間力顕微鏡用カンチレバー、その製造方法、このカンチレバーを用いた原子間力顕微鏡及びこのカンチレバーを用いた試料表面密着性評価方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-026841   Applicant：三菱電機株式会社
• プローブ装置および集積回路検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-327011   Applicant：富士通株式会社
• 走査型トンネル顕微鏡用探針
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-200862   Applicant：松下電器産業株式会社
• 走査型探針顕微鏡および多重情報再生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-090294   Applicant：松下電器産業株式会社
• カンチレバー型プローブ、これを用いた情報処理装置及び情報処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-351724   Applicant：キヤノン株式会社