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J-GLOBAL ID:200903053791566705

光触媒体およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 中村 恒久
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997207482
Publication number (International publication number):1999047609
Application date: Aug. 01, 1997
Publication date: Feb. 23, 1999
Summary:
【要約】【課題】 酸化チタン光触媒膜を何層にも積層して形成し、高活性化な光触媒体を得る。【解決手段】 真空室1内の保持体6の任意の外周面6aに基体7を取り付け、スパッタリングしながら保持体6を中心軸線L周りに連続的または間欠的に回転させる。基体7上に酸化チタンが成膜されて積層されていき、複数の層となる。
Claim (excerpt):
スパッタ法により基体上に酸化チタン光触媒膜が形成され、前記基体を連続的または間欠的に移動させながら前記光触媒膜を積層していくことを特徴とする光触媒体の製造方法。
IPC (4):
B01J 35/02 ,  B01J 21/06 ,  B01J 37/02 301 ,  C23C 14/34
FI (4):
B01J 35/02 J ,  B01J 21/06 M ,  B01J 37/02 301 P ,  C23C 14/34 E
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (9)
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Cited by examiner (9)
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