原子間力顕微鏡用プローバ及び原子間力顕微鏡

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： , ,
Agent (2)：川井治男 (外1名) , 川井治男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998347859
Publication number (International publication number)：2000155085
Application date： Nov. 20, 1998
Publication date： Jun. 06, 2000
Summary：

【要約】【課題】従来のAMF装置に組み込んで、独立に第二の電極となるプローブ探針17を試料5上で正確に位置決めすることができ、また、試料に対する加工や取り扱いに利用することができるプローバ及びそのようなプローバをもつ原子間力顕微鏡を提供すること【解決手段】原子間力顕微鏡の試料台4の表面上に位置決め可能な探針17と前記探針を前記試料台の表面に沿って移動させる駆動装置14と前記探針を前記試料台の表面に垂直な方向に移動させる駆動装置15とを備えること

Claim (excerpt)：

原子間力顕微鏡の試料台の表面上に位置決め可能な探針と前記探針を前記試料台の表面に沿って移動させる駆動位置と前記探針を前記試料台の表面に垂直な方向に移動させる駆動装置とを備えることを特徴とする原子間力顕微鏡用プローバ

IPC (3)：

G01N 13/16 , G01B 21/30 , H01J 37/20

FI (4)：

G01N 37/00 G , G01N 37/00 F , G01B 21/30 Z , H01J 37/20 Z

F-Term (16)：

2F069AA60 , 2F069DD19 , 2F069GG01 , 2F069GG58 , 2F069GG62 , 2F069HH05 , 2F069JJ08 , 2F069JJ14 , 2F069LL03 , 2F069MM32 , 5C001AA03 , 5C001AA04 , 5C001AA08 , 5C001BB07 , 5C001CC04 , 5C001CC08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

電圧測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-049709 Applicant：富士通株式会社
ウェーハプロービング装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-075031 Applicant：山形日本電気株式会社
特開昭64-073632

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