湿度センサー及び湿度の測定方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003012852
Publication number (International publication number)：2004226177
Application date： Jan. 21, 2003
Publication date： Aug. 12, 2004
Summary：

【課題】新しい湿度センサー及び湿度の測定方法【解決手段】水晶振動子及びこれをはさんで両側に設置されている電極から構成され、その電極表面が金属酸化膜により被覆され、又は電極が金属酸化物により構成されていることを特徴とする湿度センサー及びこのセンサーを用いて湿度を測定する方法。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

水晶振動子及びこれをはさんで両側に設置されている電極から構成され、その電極表面が金属酸化膜により被覆され、又は電極が金属酸化物により構成されていることを特徴とする湿度センサー。

IPC (1)：

G01N5/02

FI (1)：

G01N5/02 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

陽極酸化皮膜を用いた水晶振動子式湿度センサ素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-053027 Applicant：三菱化学株式会社
ガス検出方法及びガス検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-000624 Applicant：株式会社東芝
特開昭58-014032

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