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J-GLOBAL ID：200903054730203843

加速度センサ及びその製造方法

Inventor：
石田 拓郎

About 石田 拓郎


Applicant, Patent owner：
松下電工株式会社

About 松下電工株式会社


Agent (1)： 安藤 淳二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001133422
Publication number (International publication number)：2002328137
Application date： Apr. 27, 2001
Publication date： Nov. 15, 2002
Summary：
【要約】【課題】 小型のままで、加速度の検出精度を高くする。【解決手段】 加速度検出用電極1bを設けた接合面1aを有する基台1と、基台の接合面1aに接合された接合部2a並びに加速度を受けることにより変位可能に加速度検出用電極1bと対向配置された錘部2f及びその錘部2fの変位に応じて撓む撓み部2eを有して接合部2aから延設された延設部2bを有する接合部材2と、を備え、錘部2fと加速度検出用電極1bとの間の静電容量の変化に応じて、加速度を検出する加速度センサであり、延設部2bは、切欠幅が略等間隔の錘部形成用切欠2dが設けられて、錘部2f及び撓み部2eに分離された構成にしている。
Claim (excerpt)：
加速度検出用電極を設けた接合面を有する基台と、基台の接合面に接合された接合部並びに加速度を受けることにより変位可能に加速度検出用電極と対向配置された錘部及びその錘部の変位に応じて撓む撓み部を有して接合部から延設された延設部を有する接合部材と、を備え、前記錘部と前記加速度検出用電極との間の静電容量の変化に応じて、加速度を検出する加速度センサであり、前記延設部は、切欠幅が略等間隔の錘部形成用切欠が設けられて、前記錘部及び前記撓み部に分離されたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (3)：
G01P 15/125 ,  G01P 15/08 ,  H01L 29/84
FI (3)：
G01P 15/125 ,  H01L 29/84 Z ,  G01P 15/08 P
F-Term (18)：
4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA25 ,  4M112CA29 ,  4M112CA31 ,  4M112CA32 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA06 ,  4M112DA07 ,  4M112DA12 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA10 ,  4M112EA11 ,  4M112EA14 ,  4M112FA01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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