ポジ型感光性組成物

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993082417
Publication number (International publication number)：1994273924
Application date： Mar. 18, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】露光からベークまでの放置による感度変化、プロファイル形状変化及び現像時の膜減りが少なく、良好なプロファイルと高解像力を有するポジ型感光性組成物を提供する。【構成】 (a)水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)酸により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が(b)による酸の存在下において70°C以上に加熱することにより増大する、分子量3000以下の低分子酸分解性溶解阻止化合物、(d)(b)による酸の作用により、50°C以下で1時間以内に反応し、アルカリ現像液に対する溶解度又は親水性が増大する化合物、を含有するポジ型感光性組成物。

Claim (excerpt)：

(a)水不溶でアルカリ水溶液に可溶な樹脂、(b)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物、及び(c)酸により分解し得る基を有し、アルカリ現像液中での溶解度が(b)による酸の存在下において70°C以上に加熱することにより増大する、分子量3000以下の低分子酸分解性溶解阻止化合物、(d)(b)による酸の作用により、50°C以下で1時間以内に反応し、アルカリ現像液に対する溶解度又は親水性が増大する化合物、を含有するポジ型感光性組成物において、該化合物(c)が、(i)酸で分解し得る基を少なくとも2個有し、該酸分解性基間の距離が、最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を10個以上経由する化合物、及び、(ii)酸で分解し得る基を少なくとも3個有し、該酸分解性基間の距離が最も離れた位置において、酸分解性基を除く結合原子を9個以上経由する化合物、から選ばれた少なくとも1種であることを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (5)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/00 503 , G03F 7/029 , G03F 7/039 501 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特開昭64-006946
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-353015 Applicant：株式会社東芝
2段階の化学増幅を利用するパタン形成材料
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-129321 Applicant：日本電信電話株式会社

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