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J-GLOBAL ID：200903056059892194

基板の定量的品質検査方法及び装置

Inventor：
久保 圭司

About 久保 圭司

, 
土居 正照

About 土居 正照

, 
望月 博之

About 望月 博之

, 
吉住 恵一

About 吉住 恵一


Applicant, Patent owner：
松下電器産業株式会社

About 松下電器産業株式会社


Agent (2)： 河宮 治 ,  山田 卓二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003275496
Publication number (International publication number)：2004053612
Application date： Jul. 16, 2003
Publication date： Feb. 19, 2004
Summary：
【課題】 ウェハ等の基板の定量的欠陥検査方法及び装置を提供することを目的とする。【解決手段】 ウェハ等の基板を定量的に評価する方法は、連続した複数の第1の領域を、各第1の領域が隣接する第1の領域とオーバーラップするように定義する。第1の領域のそれぞれにおける厚さデータを用いて第1の領域の厚さのバラツキを代表する法線ベクトルを求める。次に、隣接する2つの第1の領域の各組み合わせについて法線ベクトル間の角度差を求める。そして、求めた角度差を基準値と比較し、少なくとも一つの第1の領域を含む第2の領域の品質を評価する。【選択図】図6
Claim (excerpt)：
ウェハ等の基板を定量的に評価する方法であって、 連続した複数の第1の領域を、各第1の領域が隣接する第1の領域とオーバーラップするように定義し、 第1の領域のそれぞれにおける表面データを用いて第1の領域の表面形状を代表する法線ベクトルを求め、 隣接する2つの第1の領域の各組み合わせについて法線ベクトル間の角度差を求め、 求めた角度差を基準値と比較し、少なくとも一つの第1の領域を含む第2の領域の品質を評価する方法。
IPC (2)：
G01B21/30 ,  H01L21/66
FI (3)：
G01B21/30 101Z ,  H01L21/66 C ,  H01L21/66 P
F-Term (41)：
2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA30 ,  2F065AA35 ,  2F065AA49 ,  2F065AA53 ,  2F065BB02 ,  2F065BB03 ,  2F065CC19 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065PP13 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ18 ,  2F069AA02 ,  2F069AA46 ,  2F069AA60 ,  2F069AA66 ,  2F069BB15 ,  2F069CC07 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG15 ,  2F069GG52 ,  2F069GG63 ,  2F069HH09 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ17 ,  2F069NN09 ,  2F069NN17 ,  2F069NN26 ,  4M106AA01 ,  4M106BA20 ,  4M106CA24 ,  4M106CA48 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ38
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
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