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J-GLOBAL ID：200903056064153839

電極板

Inventor：
土屋 光宏

About 土屋 光宏


Applicant, Patent owner：
アプライドマテリアルズジャパン株式会社

About アプライドマテリアルズジャパン株式会社


Agent (1)： 大西 正悟 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995208747
Publication number (International publication number)：1997063796
Application date： Aug. 16, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：
【要約】【目的】 電極板の小孔の端縁部における反応ガスの流れをスムーズにするとともに針状生成物の発生を抑える。【構成】 プラズマCVD装置内におけるプラズマ反応チャンバー2内においてこのチャンバー2内に供給される反応ガスの通路を遮断して電極板10が配設される。電極板10には反応ガスを通過させる多数の小孔11が貫通形成され、これら各小孔11の少なくともガス出口側端縁部にはほぼ同一寸法のR形状もしくは面取りが形成されている。この電極板10はアルミ板から形成され、電極板表面はアナダイズ処理されている。
Claim (excerpt)：
プラズマ反応チャンバー内に配設されてこのチャンバー内に供給される反応ガスをプラズマ励起させる電極板であって、前記電極板は前記反応ガスの通路を遮断して配設され、前記電極板には前記反応ガスを通過させる多数の小孔が貫通形成されており、これら各小孔の少なくともガス出口側端縁部がほぼ同一寸法のR形状もしくは面取りを有していることを特徴とする電極板。
IPC (3)：
H05H 1/46 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205
FI (3)：
H05H 1/46 M ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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