光ファイバプローブの製造方法及び光ファイバプローブ

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小池晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997266868
Publication number (International publication number)：1999108939
Application date： Sep. 30, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】高分解能を持ち光学画像を得ることができる光ファイバプローブの製造方法及び光ファイバプローブを提供する。【解決手段】まず、フッ酸緩衝溶液を用いた2段階エッチング法によって、光ファイバの一端を先鋭化する(第1の工程)。続いて、先鋭化した光ファイバの一端に対してイオンビーム(Ga+)を照射する(第2の工程)。さらに、フッ酸緩衝溶液により、エッチングを行う(第3の工程)。

Claim (excerpt)：

コアの周りにクラッドが設けられた光ファイバの一端に、コアが円錐状に突出した先鋭部を形成する第1の工程と、上記先鋭部に対して、先端側から軸方向にイオンビームを照射する第2の工程とを有する光ファイバプローブの製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

光ファイバ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-316853 Applicant：富士ゼロックス株式会社
走査型顕微鏡装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-024696 Applicant：日立マクセル株式会社
ファイバ製プローブ素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-185132 Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション

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Cited by examiner (7)

光ファイバ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-316853 Applicant：富士ゼロックス株式会社
ファイバ製プローブ素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-185132 Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
多重直径を有するファイバープローブ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-315400 Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション

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