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J-GLOBAL ID：200903056325259664

光ファイバプローブの製造方法及び光ファイバプローブ

Inventor： 興梠 元伸 ,  八井 崇 ,  大津 元一
Applicant, Patent owner： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997266868
Publication number (International publication number)：1999108939
Application date： Sep. 30, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】 高分解能を持ち光学画像を得ることができる光ファイバプローブの製造方法及び光ファイバプローブを提供する。【解決手段】 まず、フッ酸緩衝溶液を用いた2段階エッチング法によって、光ファイバの一端を先鋭化する(第1の工程)。続いて、先鋭化した光ファイバの一端に対してイオンビーム(Ga+)を照射する(第2の工程)。さらに、フッ酸緩衝溶液により、エッチングを行う(第3の工程)。

Claim (excerpt)：

コアの周りにクラッドが設けられた光ファイバの一端に、コアが円錐状に突出した先鋭部を形成する第1の工程と、上記先鋭部に対して、先端側から軸方向にイオンビームを照射する第2の工程とを有する光ファイバプローブの製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

• 光ファイバ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-316853   Applicant：富士ゼロックス株式会社
• ファイバ製プローブ素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-185132   Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• 走査型顕微鏡装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-024696   Applicant：日立マクセル株式会社
• 多重直径を有するファイバープローブ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-315400   Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• パターン化反応イオンエッチングを用いたファイバープローブ装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-315401   Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• 探針走査形顕微鏡用探針部品
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-220258   Applicant：横河電機株式会社
• 微細針状構造の加工方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-155242   Applicant：株式会社荏原製作所