統合マスク、ならびに統合マスクを用いた有機EL素子の製造方法およびその製造装置

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002022982
Publication number (International publication number)：2002305080
Application date： Jan. 31, 2002
Publication date： Oct. 18, 2002
Summary：

【要約】【課題】1枚の基板に多数個の有機EL素子を精度よく蒸着により形成できるように多数個の小蒸着マスクを配列した蒸着用マスクの具体的構成と、それを用いた有機EL素子の製造方法および製造装置を提供する。【解決手段】蒸着パターンに対応した蒸着用開口配列群をもつ複数の蒸着マスクが、複数の開口部を有するベース板に、各蒸着マスクの前記蒸着用開口配列群が前記開口部の上側に位置するように配置されており、かつ前記蒸着マスクは前記ベース板に任意に固定・開放自由な係合手段によって固定されているとともに、前記蒸着マスクを前記ベース板に位置決めするための基準アライメントマークを前記ベース板上に有することを特徴とする統合マスク。

Claim (excerpt)：

蒸着パターンに対応した蒸着用開口配列群をもつ複数の蒸着マスクが、複数の開口部を有するベース板に、各蒸着マスクの前記蒸着用開口配列群が前記開口部の上側に位置するように配置されており、かつ前記蒸着マスクは前記ベース板に任意に固定・開放自由な係合手段によって固定されているとともに、前記蒸着マスクを前記ベース板に位置決めするための基準アライメントマークを前記ベース板上に有することを特徴とする統合マスク。

IPC (3)：

H05B 33/10 , C23C 14/24 , H05B 33/14

FI (3)：

H05B 33/10 , C23C 14/24 G , H05B 33/14 A

F-Term (9)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029AA09 , 4K029BA62 , 4K029BD01 , 4K029CA01 , 4K029HA03 , 4K029HA04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

有機膜の形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-371502 Applicant：トヨタ自動車株式会社
真空成膜装置、そのマスク着脱装置、及びマスク位置合わせ方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-343645 Applicant：アネルバ株式会社
成膜用メタルマスク及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-076833 Applicant：キヤノン株式会社

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