Pat
J-GLOBAL ID:200903056986657291
金属膜付基板の作製方法、金属膜付基板、金属パターン材料の作製方法、金属パターン材料
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006287881
Publication number (International publication number):2008104909
Application date: Oct. 23, 2006
Publication date: May. 08, 2008
Summary:
【課題】温・湿度依存性の低い金属膜付基板、及びその作製方法を提供すること。温・湿度依存性の低く、金属パターンの非形成領域の絶縁信頼性に優れた金属パターン材料、及びその作製方法を提供すること。【解決手段】(a1)基板上に、めっき触媒又はその前駆体と相互作用を形成する多座配位可能な非解離性官能基を有し、且つ、該基板と直接化学結合したポリマーからなるポリマー層を形成する工程と、(a2)該ポリマー層に多座配位可能なめっき触媒又はその前駆体を付与する工程と、(a3)該多座配位可能なめっき触媒又はその前駆体に対してめっきを行う工程と、を有することを特徴とする金属膜付基板の作製方法等である。【選択図】なし
Claim (excerpt):
(a1)基板上に、めっき触媒又はその前駆体と相互作用を形成する多座配位可能な非解離性官能基を有し、且つ、該基板と直接化学結合したポリマーからなるポリマー層を形成する工程と、
(a2)該ポリマー層に多座配位可能なめっき触媒又はその前駆体を付与する工程と、
(a3)該多座配位可能なめっき触媒又はその前駆体に対してめっきを行う工程と、
を有することを特徴とする金属膜付基板の作製方法。
IPC (3):
B05D 3/10
, C23C 18/18
, H05K 3/18
FI (4):
B05D3/10 D
, C23C18/18
, H05K3/18 B
, H05K3/18 E
F-Term (72):
4D075AE03
, 4D075BB57Y
, 4D075BB66Z
, 4D075CA13
, 4D075CA22
, 4D075CA23
, 4D075CB38
, 4D075DA04
, 4D075DA06
, 4D075DB05
, 4D075DB06
, 4D075DB07
, 4D075DB18
, 4D075DB33
, 4D075DB36
, 4D075DB37
, 4D075DB39
, 4D075DB40
, 4D075DB47
, 4D075DB48
, 4D075DB53
, 4D075DB55
, 4D075DB61
, 4D075DB64
, 4D075DC19
, 4D075DC21
, 4D075EA07
, 4D075EA21
, 4D075EB12
, 4D075EB14
, 4D075EB22
, 4D075EB33
, 4D075EB35
, 4D075EB38
, 4D075EB39
, 4D075EC10
, 4D075EC37
, 4K022AA02
, 4K022AA04
, 4K022AA12
, 4K022AA13
, 4K022AA32
, 4K022AA41
, 4K022AA42
, 4K022BA03
, 4K022BA08
, 4K022BA14
, 4K022BA17
, 4K022BA18
, 4K022BA21
, 4K022BA35
, 4K022CA04
, 4K022CA06
, 4K022CA21
, 4K022CA22
, 4K022CA29
, 4K022DA01
, 5E343AA12
, 5E343AA17
, 5E343AA18
, 5E343AA38
, 5E343BB23
, 5E343BB24
, 5E343BB44
, 5E343BB48
, 5E343CC73
, 5E343DD33
, 5E343DD76
, 5E343EE34
, 5E343ER02
, 5E343ER32
, 5E343GG14
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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