電子放出源の製造方法、電子放出源及び蛍光発光型表示器

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大塚秀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999098386
Publication number (International publication number)：2000294119
Application date： Apr. 06, 1999
Publication date： Oct. 20, 2000
Summary：

【要約】【課題】低電圧で高効率な電子放出を可能にすると共に、電子放出量のバラツキを抑えること。【解決手段】絶縁基板101上にカソード配線102を形成し、カソード配線102に連結してカソード電極103を形成する。その後、ペースト状のカソード電極103にカーボンナノチューブを含むカーボン物質を被着する。次に、基板501に被着形成された電界印加電極502とカソード電極103との間に電界を印加した状態でカソード電極103を乾燥させることにより、カーボンナノチューブ104の多くがカソード電極103に対して垂直方向に配向する。その後、ゲート電極等を形成することにより電子放出源が完成する。

Claim (excerpt)：

カソード電極とゲート電極間に電子放出素子を配設して成る電子放出源の製造方法において、絶縁基板上にカソード電極を形成する工程と、分散させたカーボンナノチューブを含むカーボン物質を前記カソード電極に被着する工程と、前記カソード電極に対して電界を略垂直方向に印加した状態で前記カーボンナノチューブを含むカーボン物質を前記カソード電極に固定させて電子放出素子を形成する工程とを備えて成ることを特徴とする電子放出源の製造方法。

IPC (4)：

H01J 9/02 , H01J 1/304 , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (4)：

H01J 9/02 B , H01J 1/30 F , H01J 29/04 , H01J 31/12 C

F-Term (6)：

5C031DD09 , 5C031DD19 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EG02 , 5C036EG12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

電界放出素子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-200992 Applicant：双葉電子工業株式会社
電界放出陰極、電子放出素子および電界放出陰極の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-255519 Applicant：株式会社東芝
平面ディスプレイ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-330436 Applicant：伊勢電子工業株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

"Electrode Device using Carbon Nanotubes for Display"

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