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J-GLOBAL ID：200903057591781763

積層型透明導電膜

Inventor： 石橋 暁 ,  中村 久三 ,  清田 淳也 ,  杉浦 功 ,  中村 肇 ,  堀 隆英
Applicant, Patent owner： 日本真空技術株式会社
Agent (1)： 石島 茂男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995348410
Publication number (International publication number)：1997171188
Application date： Dec. 18, 1995
Publication date： Jun. 30, 1997
Summary：

【要約】【課題】 抵抗値が小さく、透過率の高い透明導電膜を提供する。【解決手段】 酸化物透明導電薄膜27,28,37と、それよりシート抵抗の小さい金属薄膜26,36とで積層型透明導電膜22,32を構成させる。前記金属薄膜26,36によって積層型透明導電膜全体のシート抵抗が小さくなり、酸化物透明導電薄膜の干渉により反射が低減されるので透過率が高くなる。酸化物透明導電薄膜27,28の間に金属薄膜26が位置する3層構造としてもよいし、酸化物透明導電薄膜37裏面に金属薄膜36が位置する2層構造としてもよい。前記金属薄膜26,36に銀薄膜を用いる場合は、特に特性がよく、その銀薄膜に金等の腐食防止剤を添加すれば耐食性も向上する。

Claim (excerpt)：

金属薄膜と酸化物透明導電薄膜とを有する積層型透明導電膜であって、前記酸化物透明導電薄膜の裏面に前記金属薄膜が成膜され、前記金属薄膜の反射が前記酸化物透明導電薄膜の干渉効果で低減されたことを特徴とする積層型透明導電膜。

IPC (2)：

G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 335

FI (2)：

G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 335 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (17)

• 特開平4-340522
  
• 透明導電膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-242524   Applicant：東燃株式会社
• 液晶表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-152914   Applicant：ダイセル化学工業株式会社
• 透明面状ヒーター及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-038433   Applicant：三井東圧化学株式会社
• 特開平1-253978
  
• パネルヒーターおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-124056   Applicant：三井東圧化学株式会社
• パネルヒーター及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-006789   Applicant：三井東圧化学株式会社
• 特開平2-037326
  
• 透明導電膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-224673   Applicant：旭硝子株式会社
• 特開昭63-173395
  
• 特開昭56-136410
  
• 特開昭56-034450
  
• 透明導電膜の熱処理方法および透明導電膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-305973   Applicant：株式会社東芝
• ITO膜の形成方法及び液晶表示素子の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-075832   Applicant：ソニー株式会社
• 透明電極の形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-298654   Applicant：凸版印刷株式会社
• 特開昭61-165731
  
• 特開昭62-012010