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J-GLOBAL ID：200903057596860688

光ファイバプローブの製造方法

Inventor： 物部 秀二 ,  大津 元一
Applicant, Patent owner： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997176052
Publication number (International publication number)：1999023587
Application date： Jul. 01, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】 光の透過効率が高く、しかも高い分解能が得られる光ファイバプローブを製造する。【解決手段】 光ファイバのクラッドの一端に外周から内周にかけて傾斜する傾斜部を形成するクラッド傾斜工程と、コアの一端を、エッチングによってクラッドから突出させるとともにこの一端を円錐状に先鋭化する第1の先鋭化工程と、円錐状に先鋭化されたコアの一端を、エッチングによって傾斜角を2段階に変化させて先鋭化する第2の先鋭化工程によって、傾斜角の異なる3つのテーパ面2,3,4よりなる先鋭部1を有する光ファイバプローブを製造する。

Claim (excerpt)：

コアの周りにクラッドが設けられてなる光ファイバの前記クラッドの一端に外周から内周にかけて傾斜する傾斜部を形成するクラッド傾斜工程と、上記コアの一端を、エッチングによってクラッドから突出させるとともにこの一端を円錐状に先鋭化する第1の先鋭化工程と、円錐状に先鋭化されたコアの一端を、エッチングによって傾斜角を2段階に変化させて先鋭化する第2の先鋭化工程とを有することを特徴とする光ファイバプローブの製造方法。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30 102 ,  G01B 21/30 ,  G02B 6/10

FI (4)：

G01N 37/00 E ,  G01B 11/30 102 Z ,  G01B 21/30 Z ,  G02B 6/10 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 光ファイバ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-316853   Applicant：富士ゼロックス株式会社
• ファイバ製プローブ素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-185132   Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• 多重直径を有するファイバープローブ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-315400   Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
• パターン化反応イオンエッチングを用いたファイバープローブ装置の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-315401   Applicant：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション