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J-GLOBAL ID：200903058011675062

検出計セルおよび光学測定装置

Inventor：
西本 尚弘

About 西本 尚弘


Applicant, Patent owner：
株式会社島津製作所

About 株式会社島津製作所


Agent (1)： 西岡 義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999161317
Publication number (International publication number)：2000346793
Application date： Jun. 08, 1999
Publication date： Dec. 15, 2000
Summary：
【要約】【課題】 試料の流路断面積が分離キャピラリーカラムと同程度で、検出感度が良く、生産性のある検出計セルおよび光学測定装置を提供する。【解決手段】 ガラス板1とシリコン基板3をフッ酸で接合する。次に、シリコン基板3にフォトレジストをコーティングし、アライナーを使用してフォトマスクでパターンニングをし、露光・現像して、その後、シリコン基板3をドライエッチングすることにより、微小で精度の高い、高アスペクト比の断面を有する流路溝8を作製する。一方、ガラス板2に導入口2aと排出口2bをサンドブラスト法で加工し、加工したガラス板2を前記シリコン基板3上にフッ酸で接合する。検出計セル20は、ガラス板2とシリコン基板3とガラス板1の3層に接合されたものになる。
Claim (excerpt)：
液体試料を導入するための試料導入口と、導入された液体試料の流路と、液体試料を排出する試料排出口が設けられ、前記流路のうちの少なくとも一部の領域を測定室として用いる検出計セルにおいて、前記検出計セルが、ガラス板Aとシリコン基板とガラス板Bとを3層構造に接合して構成され、ガラス板Aには前記試料導入口と前記試料排出口とが設けられ、シリコン基板には液体試料の前記流路が設けられたことを特徴とする検出計セル。
IPC (2)：
G01N 21/05 ,  G01N 30/74
FI (2)：
G01N 21/05 ,  G01N 30/74 A
F-Term (12)：
2G057AA01 ,  2G057AA14 ,  2G057AB01 ,  2G057AB03 ,  2G057AC01 ,  2G057BA05 ,  2G057BB02 ,  2G057BD02 ,  2G057CA10 ,  2G057DA06 ,  2G057DB05 ,  2G057DC07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
  • 微小流路素子
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-095864   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
  • 蛍光検出用フローセル及びそれを用いた蛍光検出器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-192316   Applicant：日本分光株式会社
  • 化学分析装置および多項目化学分析装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-051144   Applicant：株式会社日立製作所
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