薄型コンデンサとその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：廣澤勲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998013403
Publication number (International publication number)：1999195552
Application date： Jan. 06, 1998
Publication date： Jul. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】強誘電体の結晶膜を簡単な構成で比較的低温で形成することが可能な薄型コンデンサとその製造方法を提供する。【解決手段】絶縁性の基板12の表面に所定の回路パターン11とその延長の下部電極14が形成されており、この下部電極14の表面に所定の形状のチタン膜18が形成されている。チタン膜18の表面には、結晶性の強誘電体膜20が形成され、この強誘電体膜20と回路パターン11を接続した上部電極24が形成されている。

Claim (excerpt)：

絶縁性の基板の表面に所定の回路パターンと下部電極が形成され、この下部電極の表面にチタン膜が設けられ、このチタン膜の表面に電気化学的に形成された結晶性の強誘電体膜を備え、この強誘電体膜と上記回路パターンを接続した上部電極が設けられた薄型コンデンサ。

IPC (5)：

H01G 4/12 352 , H01G 4/12 400 , H01B 1/16 , H01B 3/12 301 , H01G 4/33

FI (5)：

H01G 4/12 352 , H01G 4/12 400 , H01B 1/16 A , H01B 3/12 301 , H01G 4/06 102

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平4-302117
積層型素子の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-102779 Applicant：三菱化成株式会社
誘電体結晶膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-305312 Applicant：宇部興産株式会社

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