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J-GLOBAL ID：200903058102599679

表面欠陥検査方法および表面欠陥検査装置

Inventor：
吉田 清

About 吉田 清

, 
臼井 徳貴

About 臼井 徳貴


Applicant, Patent owner：
日産自動車株式会社

About 日産自動車株式会社


Agent (1)： 的場 基憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001149316
Publication number (International publication number)：2002082060
Application date： May. 18, 2001
Publication date： Mar. 22, 2002
Summary：
【要約】【課題】 従来の表面欠陥検査装置は、照明光の照射角度やカメラの撮像角度が一定であったため、ワーク表面が平面部と曲面部を有する場合、曲面部に対する検出エリアが極端に狭くなる検出限界があるなどの問題点があった。【解決手段】 平面部Fと曲面部Rを有するワークWの表面を光学的センサで走査して表面欠陥を検査するに際し、平面部Fに対しては、ワークWと光学的センサを相対的に移動させて表面欠陥を検査し、曲面部Rに対しては、ワークWと光学的センサのうちの少なくとも一方をワークの湾曲断面の連続方向に沿って移動させて表面欠陥を検査することにより、曲面部の曲率に左右されることなく充分な検出エリアを確保して、平面部および曲面部のいずれも表面欠陥検査を高精度に行えるようにした。
Claim (excerpt)：
平面部と平面部に連続した曲面部を有するワークの表面を光学的センサで走査して表面欠陥を検査するに際し、平面部に対しては、ワークと光学的センサを相対的に移動させて表面欠陥を検査し、曲面部に対しては、ワークと光学的センサのうちの少なくとも一方をワークの湾曲断面の連続方向に沿ってに移動させて表面欠陥を検査することを特徴とする表面欠陥検査方法。
IPC (5)：
G01N 21/88 ,  G01B 11/22 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/84
FI (6)：
G01N 21/88 Z ,  G01B 11/22 H ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/84 B ,  G01B 11/24 A ,  G01B 11/24 K
F-Term (36)：
2F065AA12 ,  2F065AA25 ,  2F065AA49 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065BB25 ,  2F065CC11 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065PP05 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ34 ,  2F065TT03 ,  2F065UU01 ,  2F065UU03 ,  2F065UU06 ,  2G051AA89 ,  2G051AB07 ,  2G051AC19 ,  2G051BB01 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CD06 ,  2G051CD07 ,  2G051DA06 ,  2G051EA12 ,  2G051EB09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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