種結晶の固定方法および固定状態の評価方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：恩田博宣 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001318010
Publication number (International publication number)：2003119098
Application date： Oct. 16, 2001
Publication date： Apr. 23, 2003
Summary：

【要約】【課題】単結晶の成長において、種結晶と種結晶支持部とを接着させる際の接着不良が原因で発生するマクロ欠陥を抑制して単結晶の品質を向上させることができるようにする。【解決手段】種結晶1の表面層のうち種結晶支持部22と接着する面側を除去し、種結晶1の表面層が除去された側の新たな表面と種結晶支持部22とを接着剤30を介して接着する。ルツボ20内において、単結晶の原料23と種結晶1とを対向させて配置し、原料23を加熱昇華させて種結晶1から単結晶3を成長させる。

Claim (excerpt)：

種結晶支持部(22)に固定された種結晶(1)から単結晶(3)を成長させる際の種結晶の固定方法であって、種結晶(1)の表面層のうち種結晶支持部(22)と接着する面側を除去する工程と、種結晶(1)の表面層が除去された側の新たな表面(1b)と種結晶支持部(22)とを接着剤(30)を介して接着する工程と、からなることを特徴とする種結晶の固定方法。

IPC (2)：

C30B 29/36 , C30B 23/00

FI (2)：

C30B 29/36 A , C30B 23/00

F-Term (7)：

4G077AA02 , 4G077BE08 , 4G077DA18 , 4G077DA19 , 4G077ED01 , 4G077HA12 , 4G077SA04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

炭化珪素単結晶の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-078291 Applicant：株式会社デンソー
種結晶とそれを用いた炭化珪素単結晶の製造方法、炭化珪素単結晶体および単結晶製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-171134 Applicant：株式会社デンソー
種結晶固定剤、種結晶固定方法およびそれらを用いた単結晶の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-320191 Applicant：株式会社豊田中央研究所, 株式会社デンソー

Show all

Return to Previous Page