触覚センサ及びその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：特許業務法人はるか国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005022180
Publication number (International publication number)：2006208248
Application date： Jan. 28, 2005
Publication date： Aug. 10, 2006
Summary：

【課題】物体との接触箇所に生じる微少変形を好適に測定することのできる触覚センサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】触覚センサ10は、ヒンジ部によって支持された感応部を備える構造体と、感応部の姿勢を検出する検出部と、構造体のうち少なくとも感応部を覆う弾性体14と、を備える。この触覚センサ10は、ヒンジ部及び感応部の表面にピエゾ抵抗膜を形成する工程と、感応部に導体且つ磁性体である物質膜を形成する工程と、構造体に対して磁場を加える工程と、構造体のうち少なくとも感応部を弾性体により覆う工程と、によって製造することができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ヒンジ部によって支持された感応部を備える構造体と、前記感応部の姿勢を検出する検出部と、前記構造体のうち少なくとも前記感応部を覆う弾性体と、を備えることを特徴とする触覚センサ。

IPC (2)：

G01L 5/00 , G01L 5/16

FI (2)：

G01L5/00 101 , G01L5/16

F-Term (3)：

2F051AA10 , 2F051AB10 , 2F051DA03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (7)

ハンド又はマニピュレータによる物体把持制御方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-062809 Applicant：学校法人慶應義塾
カンチレバー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-069515 Applicant：本田技研工業株式会社
半導体力検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-206946 Applicant：日本電信電話株式会社

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Cited by examiner (6)

カンチレバー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-069515 Applicant：本田技研工業株式会社
半導体力検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-206946 Applicant：日本電信電話株式会社
カンチレバー型プローブ、それによって構成したマルチ化プローブおよび走査型プローブ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-148399 Applicant：キヤノン株式会社

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