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J-GLOBAL ID：200903059824390053

3次元座標測定装置及び方法

Inventor：
中村 正治

About 中村 正治


Applicant, Patent owner：
株式会社テクノホロン

About 株式会社テクノホロン


Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005224536
Publication number (International publication number)：2007040801
Application date： Aug. 02, 2005
Publication date： Feb. 15, 2007
Summary：
【課題】BGA等のように表面に多数の突起物を備えた被測定物を高精度で測定するのに好適な3次元座標測定装置及び方法を提供する。【解決手段】同軸落射照明を備えたテレセントリック光学系の撮像手段であって、被測定物Wを載置した試料台12の鉛直軸CLに対して光軸14Aが所定の傾斜角度をなすように設けられる第1の撮像手段14と、同軸落射照明を備えたテレセントリック光学系の撮像手段であって、試料台の鉛直軸に対して光軸16Aが第1の撮像手段の光軸14Aと線対称になるように設けられる第2の撮像手段16とを使用し、第1の撮像手段で照明した被測定物表面を第2の撮像手段で撮像し、第2の撮像手段で照明した被測定物表面を第1の撮像手段で撮像し、第1及び第2の撮像手段で撮像した画像より被測定物表面の3次元座標を得る。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
被測定物を載置する試料台と、 同軸落射照明を備えたテレセントリック光学系の撮像手段であって、前記試料台の鉛直軸に対して光軸が所定の傾斜角度をなすように設けられる第1の撮像手段と、 同軸落射照明を備えたテレセントリック光学系の撮像手段であって、前記試料台の鉛直軸に対して光軸が前期第1の撮像手段の光軸と線対称になるように設けられる第2の撮像手段と、 前記第1及び第2の撮像手段で撮像した画像より被測定物表面の3次元座標を得る算出手段と、 を備えたことを特徴とする3次元座標測定装置。
IPC (2)：
G01B 11/00 ,  G06T 1/00
FI (2)：
G01B11/00 H ,  G06T1/00 305A
F-Term (37)：
2F065AA04 ,  2F065AA24 ,  2F065BB05 ,  2F065CC26 ,  2F065DD02 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF61 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL04 ,  2F065LL59 ,  2F065PP05 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065UU03 ,  2F065UU05 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA13 ,  5B057CA16 ,  5B057CB19 ,  5B057CD20 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DA15 ,  5B057DA16 ,  5B057DC03 ,  5B057DC32
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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