Pat
J-GLOBAL ID：200903059896717456

フォトレジスト用高分子化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物

Inventor：
舩木 克典

About 舩木 克典

, 
堤 聖晴

About 堤 聖晴

, 
宝来 晃

About 宝来 晃

, 
井上 慶三

About 井上 慶三


Applicant, Patent owner：
ダイセル化学工業株式会社

About ダイセル化学工業株式会社


Agent (1)： 後藤 幸久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999223110
Publication number (International publication number)：2001048931
Application date： Aug. 05, 1999
Publication date： Feb. 20, 2001
Summary：
【要約】【課題】 優れた透明性、アルカリ可溶性及び密着性を具備するだけでなく、高いエッチング耐性をも備えた高分子化合物を得る。【解決手段】 下記式(I)、(II)及び(III)【化1】(式中、R1は水素原子又はメチル基を示し、R2及びR3は、水素原子、ヒドロキシル基又は-COOR4基を示し、R4はt-ブチル基、2-テトラヒドロピラニル基などを示す。R5及びR6は、水素原子、ヒドロキシル基又はオキソ基を示す。R7、R8及びR9は、水素原子又はメチル基を示す)から選択された少なくとも1種のモノマー単位を含む[但し、式(III)のモノマー単位を含む場合などには、下記式(IV)【化2】(式中、R10及びR11は、水素原子、ヒドロキシル基又はカルボキシル基を示し、R12はヒドロキシル基、オキソ基又はカルボキシル基を示す。R1は前記に同じ)で表されるモノマー単位などから選択された少なくとも1種のモノマー単位をも含む]高分子化合物。
Claim (excerpt)：
下記式(I)、(II)及び(III)【化1】(式中、R1は水素原子又はメチル基を示し、R2及びR3は、同一又は異なって、水素原子、ヒドロキシル基又は-COOR4基を示し、R4はt-ブチル基、2-テトラヒドロフラニル基、2-テトラヒドロピラニル基又は2-オキセパニル基を示す。R5及びR6は、同一又は異なって、水素原子、ヒドロキシル基又はオキソ基を示す。R7、R8及びR9は、同一又は異なって、水素原子又はメチル基を示す)から選択された少なくとも1種のモノマー単位を含む[但し、式(II)のうち、R5=R6=Hであるモノマー単位を含む場合、又は式(III)のモノマー単位を含む場合には、前記式(I)で表されるモノマー単位、前記式(II)のうちR5及びR6の少なくとも一方がヒドロキシル基又はオキソ基であるモノマー単位、及び下記式(IV)【化2】(式中、R10及びR11は、同一又は異なって、水素原子、ヒドロキシル基又はカルボキシル基を示し、R12はヒドロキシル基、オキソ基又はカルボキシル基を示す。R1は前記に同じ)で表されるモノマー単位から選択された少なくとも1種のモノマー単位をも含む]高分子化合物。
IPC (3)：
C08F 20/10 ,  C08L 33/04 ,  G03F 7/039 601
FI (3)：
C08F 20/10 ,  C08L 33/04 ,  G03F 7/039 601
F-Term (61)：
2H025AA00 ,  2H025AA09 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AC05 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J002BG041 ,  4J002BG051 ,  4J002BG071 ,  4J002EQ036 ,  4J002ER006 ,  4J002EV196 ,  4J002EV216 ,  4J002EV246 ,  4J002EV296 ,  4J002EV316 ,  4J002EW056 ,  4J002EY026 ,  4J002FD146 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03 ,  4J100AJ02T ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100AL08S ,  4J100AL08T ,  4J100BA03P ,  4J100BA03Q ,  4J100BA03R ,  4J100BA03T ,  4J100BA11P ,  4J100BA11R ,  4J100BA15Q ,  4J100BA15T ,  4J100BA16P ,  4J100BA16T ,  4J100BA20Q ,  4J100BA20T ,  4J100BC07T ,  4J100BC08T ,  4J100BC09P ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC09T ,  4J100BC53Q ,  4J100BC53S ,  4J100BC53T ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM