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J-GLOBAL ID:200903059932369273
生産管理方法および生産管理装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002326031
Publication number (International publication number):2004165216
Application date: Nov. 08, 2002
Publication date: Jun. 10, 2004
Summary:
【課題】ライン状態を正確に判定し、事前に異常を察知し、察知した異常に対して適切な対策を実施して生産量の増大、リードタイムの短縮を実現する。【解決手段】生産ラインに関する情報を記録している生産管理データベース405から、ライン状態表示パラメータ設定部410が、ライン状態を表す複数のパラメータを抽出し設定する。基準空間作成部415が、前記複数のパラメータについて、正常なライン状態を表す複数のサンプルデータを収集し、基準空間を作成する。マハラノビス距離計算部420が、生産管理データベース405から前記パラメータについて任意時刻の観測データを収集し、マハラノビス距離を計算する。このマハラノビス距離の時系列データを用いて、ライン状態判定部425がライン状態の傾向を監視し診断する。【選択図】 図2
Claim (excerpt):
生産ラインにおけるライン状態を診断する方法であって、
ライン状態を表す複数のパラメータを設定する工程と、
前記複数のパラメータにおける正常なライン状態を表すサンプルデータを収集する工程と、
収集した前記サンプルデータを用いて基準空間を作成する工程と、
前記複数のパラメータについて観測データを収集し、収集した観測データを用いて前記基準空間上でマハラノビス距離を計算する工程と、
前記マハラノビス距離の時系列データを用いてライン状態の傾向を判定する工程とを含むことを特徴とする生産管理方法。
IPC (3):
H01L21/02
, G05B19/418
, G06F17/60
FI (3):
H01L21/02 Z
, G05B19/418 Z
, G06F17/60 108
F-Term (9):
3C100AA29
, 3C100AA56
, 3C100AA62
, 3C100BB02
, 3C100BB03
, 3C100BB12
, 3C100BB31
, 3C100BB33
, 3C100EE06
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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製造工程のための管理方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-122621
Applicant:沖電気工業株式会社, 宮崎沖電気株式会社
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半導体製造プロセス安定化支援システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-056611
Applicant:株式会社日立製作所
-
半導体製造装置のための管理方法および管理システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-277043
Applicant:宮崎沖電気株式会社, 沖電気工業株式会社
-
機器監視・予防保全システム
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-056610
Applicant:株式会社日立製作所
-
工程管理図作成システムおよび作成方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-145924
Applicant:株式会社日立製作所
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