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J-GLOBAL ID：200903060345142841

ナノチューブプローブ及び製造方法

Inventor： 中山 喜萬 ,  大川 隆 ,  山中 重宣 ,  原田 昭雄
Applicant, Patent owner： 中山 喜萬 ,  大研化学工業株式会社
Agent (1)： 三木 久巳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003315231
Publication number (International publication number)：2005083857
Application date： Sep. 08, 2003
Publication date： Mar. 31, 2005
Summary：

【目的】耐久性があり、短時間で製造することができ、ナノチューブを保持するホルダー面に付着不純物が少ないナノチューブプローブを実現する。【構成】本発明に係るナノチューブプローブは、ナノチューブ8をカンチレバー突出部4に少なくとも二つの部分コーティング膜12a、12bにより固定して構成される。これら二つの部分コーティング膜の中間領域に1箇所以上の部分コーティング膜を追加形成してもよい。各部分コーティング膜は、ナノチューブ基端部8bがカンチレバー突出部4に接触した位置に電子ビーム10を照射して形成される。各部分コーティング膜が相互に重なり合わないように分離して形成される。部分コーティング膜の大きさを極力小さくし、電子ビーム10のビーム径を絞ることにより、コーティング時間を短縮できる。ビーム径が小さいので余分な不純物の堆積を抑制することができる。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

ナノチューブを保持するホルダーと、前記ナノチューブの先端部を突出させた状態でナノチューブの基端部をホルダー面にコーティング膜により固定したナノチューブプローブにおいて、前記ナノチューブ基端部の複数箇所の夫々を部分コーティング膜によりホルダー面に固定し、各部分コーティング膜が相互に重なり合わずに分離していることを特徴とするナノチューブプローブ。

IPC (3)：

G01N13/16 ,  G01N13/12 ,  G12B21/02

FI (3)：

G01N13/16 C ,  G01N13/12 D ,  G12B1/00 601A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• ナノチューブ組立体から作製された巨視的操作可能なナノ規模の装置
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平10-508225   Applicant：ウィリアム・マーシュ・ライス・ユニバーシティ
• 電子装置の表面信号操作用プローブ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-116939   Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社

Cited by examiner (3)

• 導電性針の製造方法及びその方法により製造された導電性針
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-292126   Applicant：株式会社日立製作所
• 探針およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-113806   Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 微細針状構造の加工方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-155242   Applicant：株式会社荏原製作所