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J-GLOBAL ID：200903061017281377

硬質炭素被膜部材の製造方法

Inventor：
福井 治世

About 福井 治世

, 
織田 一彦

About 織田 一彦


Applicant, Patent owner：
日本アイ・ティ・エフ株式会社

About 日本アイ・ティ・エフ株式会社

, 
住友電気工業株式会社

About 住友電気工業株式会社


Agent (1)： 鎌田 文二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998115145
Publication number (International publication number)：1999302846
Application date： Apr. 24, 1998
Publication date： Nov. 02, 1999
Summary：
【要約】【課題】 使用の当初の摩擦係数を低下させることにより、安定した摺動特性を長時間有する硬質炭素被膜を形成しようとするものである。【解決手段】 炭化水素系ガスを用いたプラズマ気相合成法によって硬質炭素被膜を形成した基材に、ガスプラズマによるボンバード処理によって表面処理を行う。
Claim (excerpt)：
炭化水素系ガスを用いたプラズマ気相合成法によって硬質炭素被膜を形成した基材に、ガスプラズマによるボンバード処理によって表面処理を行う硬質炭素被膜部材の製造方法。
IPC (3)：
C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00
FI (3)：
C23C 16/26 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
  • 加熱ローラ装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-006352   Applicant：シチズン時計株式会社
  • 動圧軸受装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-274187   Applicant：キヤノン株式会社
  • 特開平3-061369
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Cited by examiner (9)
  • 微小機械部品及びその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-065910   Applicant：住友電気工業株式会社
  • 加熱ローラ装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-006352   Applicant：シチズン時計株式会社
  • 動圧軸受装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-274187   Applicant：キヤノン株式会社
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